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8.7.4 Kompensation zweidimensio-
naler Bewegungen
Zum Aktivieren einer encoderbasierten zweidimensi-
onalen "Processing on the fly"-Korrektur (z. B. für
einen XY-Verschiebetisch), insbesondere mit zusam-
menhängenden Markierungen im virtuellen Bildfeld,
kann der Befehl
set_fly_2d
Gegenüber einer Aktivierung mit
set_fly_y
bringt dies folgende Vorteile:
•
set_fly_2d
setzt die beiden Encoder gleichzeitig
zurück
(set_fly_x
und
separate Befehle immer mit einer kleinen Zeitver-
zögerung zwischen den beiden Kanälen)
•
set_fly_2d
erlaubt eine Kompensation von nicht-
linearen Zusammenhängen zwischen den
Encoder-Werten und den tatsächlichen XY-Tisch-
Bewegungen (siehe
Abschnitt "2D-Encoder-
Kompensation für XY-Tische", Seite
•
set_fly_2d
erlaubt die Verwendung von Koordi-
natentransformationen im virtuellen Bildfeld
(siehe
Abschnitt "Koordinatentransformationen
im virtuellen Bildfeld", Seite
• Auch während der Unterbrechung einer
set_fly_2d-Markierung mit
wait_for_encoder_mode
wait_for_encoder_in_range
Positionen der Galvanometerscanner kontinu-
ierlich entsprechend der aktuellen Encoderwerte
des XY-Tischs "Processing on the fly"-korrigiert
(der Laserfokus bleibt dadurch relativ zum XY-
Tisch stehen). Dadurch werden nach XY-Tisch-
Bewegungsfahrten unnötige Sprünge vermieden
(siehe
Kapitel 8.7.6 "Virtuelles Bildfeld",
Seite
205).
Hinweise
• Eine set_fly_2d-Korrektur kann nicht mit anderen
"Processing on the fly"-Korrekturen kombiniert
werden (siehe
Abschnitt "Übersicht", Seite
®
®
RTC
5 PCI-Karte, RTC
5 PCI-Express-Karte, RTC
Rev. 1.10 d
8 Erweiterte Funktionen zur Scan-Kopf- und Lasersteuerung
verwendet werden.
set_fly_x
und
set_fly_y
dagegen als
202).
204).
oder
werden die
196).
®
5 PC/104-Plus-Karte, RTC
2D-Encoder-Kompensation für XY-Tische
Bei erhöhten Anforderungen an die Markiergenau-
igkeit kann es notwendig sein, auch die mechani-
schen Abweichungen eines XY-Verschiebetisches zu
kompensieren. Zu diesem Zweck kann mit dem Befehl
load_fly_2d_table
eine zweidimensionale Kompen-
sationstabelle auf die RTC
Dann werden die Encoderwerte während einer mit
set_fly_2d
eingeleiteten "Processing on the fly"-
Anwendung wie bei einer Feldkorrekturtabelle zwei-
dimensional interpoliert und kompensiert.
Um überflüssige Initialisierungsfahrten einzusparen,
kann mit dem Befehl
init_fly_2d
Anfangsposition des Verschiebetisches als Refe-
renzwert für die 2D-Encoder-Kompensation fest-
®
gelegt (auf der RTC
5-Karte gespeichert) werden. Bei
jedem nachfolgenden Zurücksetzen der Encoder mit
set_fly_2d
wird die aktuelle Position automatisch als
neue Referenzposition übernommen, so dass die
Beziehung zwischen den aktuellen Encoder-Werten
und der absoluten Position des Tisches für die
Kompensation erhalten bleibt. Diese Beziehung
bleibt auch beim Beenden mit
einem erneuten Starten mit
dagegen nicht, wenn zwischendurch andere
"Processing on the fly"-Korrekturen aktiviert werden,
und auch nicht beim Zurücksetzen der Encoder mit
einem externen /START (siehe
Bit # 9 = 1). Die aktuell gültigen Referenzwerte
können jederzeit mit
get_fly_2d_offset
werden.
Die Encoder-Kompensation wirkt ausschließlich auf
die "Processing on the fly"-Korrektur. Die Befehle
get_encoder, store_encoder,
wait_for_encoder,
wait_for_encoder_mode
wait_for_encoder_in_range
nalen, nicht kompensierten Encoder-Werte, ebenso
die Aufzeichnung mit
set_trigger
44) oder get_value.
®
5 PCIe/104-Karte
®
5 geladen werden (s.u.).
eine beliebige
fly_return
oder bei
set_fly_2d
erhalten,
set_control_mode
mit
ausgelesen
read_encoder
sowie
und
verwenden die origi-
(Signal = 43 oder
202
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