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Technische Daten
6.5
Reinraumroboter
6.5.1
Ausführung der Reinraumroboter
Für Anwendungen in der Halbleiterherstellung oder für besondere Laboraufgaben sind die Roboter-
arme RH3FH, RH-6FH, RH-12FH und RH-20FH in der Reinausführung mit ISO-Klasse 3 lieferbar.
Typ
RH-3FHxx12C
RH-6FHxx20C/xx34C
RH-12FHxx35C/xx45C
RH-20FHxx35C/xx45C
Tab. 6-9:
HINWEIS
Verwenden Sie zum Absaugen der Luft eine Vakuumpumpe mit folgender Absaugleistung:
RH-3FH/6FH: mindestens 30 l/min
RH-12FH/20FH: mindestens 60 l/min.
6.5.2
Anschluss der Vakuumpumpe
Entfernen Sie die CONBOX-Abdeckung an der Basis des Roboters und schließen Sie die Zuluftleitung
an (siehe Abb. 6-6).
Durch die Bewegungen der Z-Achse ändert sich das Volumen der Faltenbälge und die Luft tritt aus
der Öffnung der Zuluftleitung heraus oder wird in die Öffnung hineingesaugt. Die Zuluftleitung muss
so verlegt werden, dass die Luft die Reinraumeigenschaften des Roboters nicht verändert.
Obwohl während des Ansaugvorgangs nur geringe Mengen Außenluft in den Roboter gelangen, soll-
ten Sie zwei Punkte bei der Verlegung der Zuluftleitung beachten:
● Die Öffnung der Zuluftleitung muss nach unten zeigen.
● Die Öffnung der Zuluftleitung darf sich nicht in der Nähe von Staub, Schmutz oder Flüssigkeiten
befinden. (Empfohlene Reinraumklasse der Umgebung: ISO-Klasse 5)
Abb. 6-6:
HINWEIS
Verwenden Sie das optionale Magnetventil kann die abgesaugte Luft über einen Reserve-
schlauch (Ø6) des Schlauchsystems abgeführt werden. Achten Sie darauf, dass der Schlauch dicht
ist, damit die abgesaugte Luft nicht in das Innere des Roboters gelangt.
RH-3FH/6FH/12FH/20FH
Reinraumklasse
ISO-Klasse 3
Roboterarm in Reinraumausführung
Basis
Vakuum
Leistungskabel
Anschluss der Absaugleitung
Reinraumroboter
Interne Absaugung
Verwenden Sie den Roboter in einem
Reinraum mit einer Downflow-
Geschwindigkeit von 0,3 m/s.
CONBOX-Abdeckung
Zuluftleitung
(inklusive Anschluss)
Öffnung
R002446E
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