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Technische Daten
Reinraumroboter
6.5
Für Anwendungen in der Halbleiterherstellung oder für besondere Laboraufgaben sind Robo-
terarme in der Reinraumklasse 100 lieferbar.
Typ
SB
Tab. 6-4: Roboterarme in Reinraumausführung
HINWEISE
Die abgesaugte Luft kann über einen Schlauch von der Rückseite des Roboterarms abge-
führt werden. Achten Sie darauf, dass der Schlauch dicht ist. Die abgesaugte Luft darf nicht
in das Innere des Roboters gelangen.
Verwenden Sie zum Absaugen ein Vakuumventil, muss die Absaugleistung 50 l/min. betra-
gen.
RP-1AH/3AH/5AH
Reinraumklasse
100 (0,3 µm)
Reinraumroboter
Interne Absaugung
Gezielte Absaugung über Vakuum-
Ventil (auf der Rückseite des
Roboterarms)
6 – 5
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