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Reinraumroboter
Reinraumroboter
6.5
6.5.1
Ausführung der Reinraumroboter
Für Anwendungen in der Halbleiterherstellung oder für besondere Laboraufgaben sind 5- und
6-achsige Roboterarme in den Reinraumklassen 100 und 10 lieferbar.
Typ
SA
SB
Tab. 6-5:
HINWEISE
Die abgesaugte Luft kann über einen Reserve-Schlauch des Schlauchsystems abgeführt
werden. Achten Sie darauf, dass der Schlauch dicht ist, damit die abgesaugte Luft nicht in
das Innere des Roboters abgeführt wird.
Die Roboterarme des SA-Typs besitzen eine Öffnung in der Montageoberfläche, durch die
die abgesaugte Luft des internen Gebläses abgeführt werden kann.
Verwenden Sie zum Absaugen der Luft eine Vakuumpumpe mit einer Absaugleistung von
mindestens 50 l/min.
Verwenden Sie zum Absaugen ein Vakuumventil, müssen Sie dieses Ventil im Rückfluss
des Schlauchsystems installieren oder Sie installieren einen Filter am Belüftungsloch.
Empfohlener Abluftfilter: EF300-02
E
ACHTUNG:
Der Roboter darf nicht mit Spannung versorgt werden, bis alle Installationsarbeiten ab-
geschlossen sind. Greifen Sie nicht in das Gebläse, während Spannung anliegt. Es be-
steht Verletzungsgefahr.
6– 8
Reinraumklasse
10 (0,3 µm)
100 (0,3 µm)
Roboterarme in Reinraumausführung
Technische Daten
Interne Absaugung
Interne Absaugung mittels Gebläse
(im Sockel) und gezielte Absau-
gung über Vakuum-Ventil (für den
zweiten Armbereich)
Gezielte Absaugung über
Vakuum-Ventil (für den zweiten
Armbereich)
MITSUBISHI ELECTRIC
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