Reinraum-Roboter; Ausführung Des Reinraum-Roboters - Mitsubishi Electric MOVEMASTER RV-E5NJM Technisches Handbuch

Reinraum-Roboter

Reinraum-Roboter
6.5
6.5.1 Ausführung des Reinraum-Roboters
Für Anwendungen in der Halbleiterherstellung oder für besondere Laboraufgaben ist der
6-achsige Roboter RV-EN in der Reinraumklasse 100 und 10 lieferbar.
Modell
Reinraum-
klasse
Interne
Absaugung
Tab. 6-4: Roboter in Reinraum-Ausführung
HINWEISE Die abgesaugte Luft kann über einen Reserve-Schlauch des Schlauchsystems abgeführt
werden. Achten Sie auf Dichtigkeit des Schlauches, damit die abgesaugte Luft nicht in das
Innere des Roboters abgeführt wird.
Die abgesaugte Luft des internen Gebläses muß über eine Öffnung in der Montageober-
fläche des Roboters abgeführt werden.
E
ACHTUNG:
Der Roboter darf nicht mit Spannung versorgt werden, bis alle Installationsarbeiten
abgeschlossen worden sind. Greifen Sie nicht in das Gebläse, während Spannung
anliegt. Es besteht Verletzungsgefahr.
6 – 6
RV-E4NC-SA
10 (0,3 µm)
Interne Absaugung mittels Gebläse (Sockel)
und gezielte Absaugung über Vakuum-Ventil
(für den Armbereich 2).
Technische Daten
RV-E4NC-SB
100 (0,3 µm)
Gezielte Absaugung über Vakuum-Ventil (für
den Armbereich 2).
MITSUBISHI ELECTRIC