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Carl Zeiss
4.9.10
Auflicht - TIC einstellen
(1)
Anwendung
Das Auflicht-TIC-Verfahren (Mikrointerferometrie; TIC = Totaler Interferenzkontrast im zirkular
polarisierten Licht) kann angewendet werden für die Darstellung und Vermessung von Objektstrukturen,
die in unterschiedlichen Azimuten vorliegen.
Bild 4-70
TIC-Schieber 6x20
Modulatorrevolver 4-fach (4-69/6) durch Drehen am Revolverrad (4-69/5) die TIC-Position (TIC)
einschwenken.. Im Sehfeld erscheinen farbige Interferenzstreifen. Mit der Stellschraube (4-70/2) des
TIC-Schiebers oder des Modulatorrevolvers den schwarzen Interferenzstreifen nach Augenschein in die
Sehfeldmitte verschieben.
•
Zum Auswählen der zu vermessenden Struktur am Stellrad (4-70/1) des TIC-Schiebers bzw. des
Modulatorrevolvers so lange drehen, bis das Interferenzstreifensystem senkrecht zur Aufspaltungs-
richtung des Objektes (siehe Bild 4-71) verläuft. Mit der Stellschraube (4-70/2) des TIC-Schiebers oder
des Modulatorrevolvers können die Interferenzstreifen verschoben werden.
Die Bestimmung der Stufenhöhe d erfolgt anschließend nach folgender Formel:
∆
λ
n
b
=
=
d
2
a 2
mit:
d = Stufenhöhe in nm
n = Brechzahl der Umgebung, meistens Luft (n = 1)
∆ = Gangunterschied
a = Abstand der Interferenzstreifen
b = Versatz der Interferenzstreifen an der Stufe
λ = Wellenlänge der Beleuchtung in nm
138
BEDIENUNG
Beleuchtungs- und Kontrastverfahren
(2)
− Axio Imager MAT
− Objektive EC Epiplan-Neofluar, Epiplan mit der
− Kompensatoraufnahme 6x20 oder Modulator-
− TIC-Schieber 6x20 mit zugehörigem Reflektor-
(3)
•
•
•
Geräteausrüstung
mit
justierter Halogenleuchte HAL 100.
Zusatzbezeichnung "DIC" oder "Pol".
revolver 4-fach)
modul C DIC P&C.
Auflicht - TIC einstellen
Präparat (z. B. ein stufenförmiges Objekt)
auflegen und Mikroskop wie in Abschnitt 4.9.7
beschrieben für Auflicht - Hellfeld einstellen.
Reflektormodul C DIC P&C am Reflektorrevolver
in den Strahlengang einschwenken.
TIC-Schieber 6x20
in
aufnahme 6x20 (4-68/4) einschieben oder am
Axio Imager
angeschlossener
und
die
Kompensator-
B 46-0078 d 12/05
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