PlasmaQuant 9200
7.8
Gasanlage auf Dichtheit prüfen
} Torch aus der Arbeitsposition nach unten bewegen.
Diese Vorsichtsmaßnahme verhindert, dass die Glasteile bei der Montage des Konus
beschädigt werden.
} Konus mit Fenster entfernen, um besser an das horizontale Fenster zu
gelangen.
} Halter des Fensters gegen Uhrzeigersinn abschrauben.
} Fenster aus dem Halter drücken.
} Fenster bei Bedarf reinigen:
– Mit Wasser und handelsüblichen Tensid mit einem Wattebausch rei-
nigen.
– Mit Wasser spülen und im Gasstrom (Argon oder Druckluft trocknen).
} Dichtringe auf Verschleiß prüfen und ggf. austauschen.
} Neues bzw. gereinigtes Fenster in den Halter einsetzen. Hinweis zum Sitz
des Fensters siehe unten. Die Stirnflächen dabei nicht mit den Fingern
berühren.
Die Stirnseite kann mit der beigelegten Schutzkappe abgedeckt werden,
um Verunreinigungen beim Einsetzen zu verhindern.
} Halter wieder in die Plasmaraumöffnung des Gerätes einschrauben.
Hinweis zum Sitz des horizontalen Fensters:
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Das Fenster kann variabel in den Halter eingesetzt werden. Der Halter ist so kon-
struiert, dass das Fenster um 9,5 mm verschoben werden kann, um es optimal zu
positionieren.
Schieben Sie das Fenster so weit wie möglich nach hinten, um das Beschlagen des
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Fensters durch das Plasma so gering wie möglich zu halten.
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Nur wenn Sie im Vakuum-UV bei radialer Beobachtung möglichst niedrige Nach-
weisgrenzen erzielen wollen, schieben Sie das Fenster möglichst nahe an die Torch.
Dann besteht jedoch das Risiko, dass das Fenster schneller beschlägt und dadurch
eine Drift verursacht. Messen Sie deshalb im Vakuum-UV besser bei axialer Beob-
achtung, um möglichst niedrige Nachweisgrenzen zu erzielen.
Prüfen Sie die Dichtheit wöchentlich und immer dann, wenn das Gerät von der Gasver-
sorgungsanlage getrennt war. Dazu den Absperrhahn der Gasversorgungsanlage schlie-
ßen und den Druck am nachgeschalteten Manometer prüfen. Wenn der Druck stark ab-
fällt, Leck in der Gasversorgung suchen.
} Absperrhahn öffnen.
Wartung und Pflege des Emissionsspektrometers
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