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ZEISS
Achtung:
•
Sind Stufe und Umgebung aus unterschiedlichem Material, sind die stoffeigenen Phasensprünge zu
berücksichtigen. Während für alle Nichtleiter der Phasensprung 180° beträgt und für Halbleiter nur
wenig von 180° abweicht, d. h. der Messfehler zu vernachlässigen ist, können z. B. bei Metallen auf
Glas die Messwerte verfälscht werden. Die in Tabelle 2 für senkrechten Lichteinfall und kompaktes
Material berechneten Phasensprünge sollen als Richtwert dienen, weil davon auszugehen ist, dass die
Phasensprünge von der Schichtdicke und dem Lichteinfallswinkel abhängen. Eine genaue
Dickenbestimmung ist nur möglich, wenn das gesamte Objekt mit einer homogenen Schicht bedampft
wird und anschließend der Gangunterschied gemessen wird.
•
Sind die Schichten bzw. Stufen transparent, wie z. B. Siliziumdioxid auf Silizium, kann eine Umfärbung
der Interferenzstreifen erfolgen und somit die Bestimmung der Interferenzordnung problematisch
werden. Abhilfe schafft auch hier eine zusätzliche Bedampfung mit einer homogenen Schicht.
Material
Phasensprung φ
Kupfer
Gold
Silber
Wismut
Nickel
Eisen
Zink
Platin
Aluminium
Zinn
Chrom
Kohle
Graphit
Silizium
Glas
Tabelle 2:
Berechnete Phasensprünge
für kompaktes Material und
senkrechten Lichteinfall
168
BEDIENUNG
Beleuchtungs- und Kontrastverfahren
Bei der Dickenbestimmung geht die halbe Differenz der
140,0°
Phasensprünge ein:
142,5°
151,0°
151,0°
Beispiel: Extremfall Kupfer auf Glas
157,0°
157,5°
159,0°
160,0°
Ohne Berücksichtigung des stoffeigenen Phasensprunges
160,0°
würde der Messwert um 30 nm zu groß sein.
160,5°
165,0°
160,0°
165,0°
177,0°
180,0°
431004-7244-000
∆
δφ
=
−
d
2
2
Φ
=
°
140
,
Φ
Kupfer
Glas
des Phasensprunges
δφ
λ
=
°
=
20
bzw.
2
18
Axio Observer
=
°
, demzufolge Anteil
180
30
nm
12/2016
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