Anmelden
Hochladen
Anleitungen
Marken
Inficon Anleitungen
Messgeräte
LDS3000 AQ
Inficon LDS3000 AQ Handbücher
Anleitungen und Benutzerhandbücher für Inficon LDS3000 AQ. Wir haben
4
Inficon LDS3000 AQ Anleitungen zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Originalbetriebsanleitung, Betriebsanleitung
INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung (144 Seiten)
Massenspektrometer-Modul
Marke:
INFICON
| Kategorie:
Messgeräte
| Dateigröße: 8.22 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Über diese Anleitung
7
Mitgeltende Dokumente
7
Zielgruppen
7
Warnhinweise
7
Begriffsdefinitionen
9
2 Sicherheit
12
Bestimmungsgemäße Verwendung
12
Anforderungen an den Betreiber
12
Personalqualifikation
13
Pflichten des Bedieners
13
Gefahren
14
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
16
4 Beschreibung
17
Funktion
17
Geräteaufbau
18
Gesamtgerät (LDS3000)
18
Gesamtgerät (LDS3000 AQ)
19
Anschlussblock
23
MSB-Box
23
Kennzeichnungen am Gerät
26
Technische Daten
26
Umgebungsbedingungen
27
Werkseinstellungen
27
5 Montage LDS3000
30
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
30
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
31
Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS Wählen
32
Komponentenverbindungen Herstellen
33
Elektrische Verbindungen Herstellen
34
6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation)
35
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
35
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
36
Komponenten Auswählen und Verbindungen Herstellen
38
Elektrische Verbindungen Herstellen
40
7 Betrieb LDS3000
41
Gerät Einschalten
41
Voreinstellungen
42
Einheit für die Leckrate Wählen
43
Einheit für den Druck Wählen
44
Kompatibilitätsmodus Wählen
44
Betriebsart Wählen
46
Gasart Wählen (Masse)
47
Gerät Kalibrieren
48
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
48
Interne Kalibrierung Konfigurieren und Starten
50
Externe Kalibrierung Konfigurieren und Starten
51
Externe Dynamische Kalibrierung Starten
53
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL
55
Kalibrierung Prüfen
56
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
56
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
56
Kalibrierfaktor Eingeben
57
Kalibrierfaktor Schnüffeln
57
Kalibrierfaktor Vakuum
57
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
58
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
58
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
59
Messung Starten und Stoppen
60
Parameter Speichern und Laden
60
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
61
Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen Unterdrücken
61
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
62
Gasballastventil der Vorvakuumpumpe Steuern
63
Anzeigegrenzen Wählen
64
Triggerwerte Einstellen
64
Kapillarüberwachung Einstellen
65
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
66
Kathode Auswählen
66
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
67
Einstellungen Zurücksetzen
69
8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
71
Gerät Einschalten
71
Voreinstellungen
71
Einheit für die Leckrate Wählen
72
Einheit für den Druck Wählen
73
Kompatibilitätsmodus Wählen
73
Basiseinstellungen über Assistent Vornehmen
75
Peak Bestimmen
76
Leckrate von Prüflecks Hinterlegen
77
Gerät Kalibrieren
78
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
78
Kalibrierfaktor Eingeben
79
Kalibrierfaktor Vakuum
79
Kalibrieren
80
ZERO Ausführen
82
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
83
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
83
Messung Durchführen
84
Parameter Speichern und Laden
85
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
85
Zerozeit Faktor AQ" Anpassen
86
Anzeigegrenzen Wählen
86
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
86
Kathode Auswählen
87
Einstellungen Zurücksetzen
87
9 Erweiterungsmodul Nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ)
89
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
89
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
89
Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
89
Ein- und Ausgänge Belegen
90
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
98
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
100
Einstellungen für das Busmodul BM1000
102
10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
103
Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
111
11 Betrieb CU1000 (Optional)
113
Elemente des Touchscreens
113
Elemente der Messanzeige
113
Elemente der Fehler- und Warnungsanzeige
116
Einstellungen und Funktionen
117
Touchscreen-Einstellungen
117
Bedienertypen und Berechtigungen
120
Bediener Abmelden
122
Daten Aufzeichnen
122
Einstellungen Zurücksetzen
122
Funktionen
122
Informationen Aufrufen
124
Software Aktualisieren
127
Software der Bedieneinheit Aktualisieren
127
Softwareversion der MSB-Box Prüfen und Aktualisieren
127
Software des I/O-Moduls Aktualisieren
128
12 Wartung
130
Wartung bei INFICON
130
Allgemeine Wartungshinweise
130
Wartungsplan
131
Wartungsarbeiten
132
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
132
13 Außerbetriebnahme
137
Lecksuchgerät Stillsetzen
137
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
137
Massenspektrometer-Modul Einsenden
137
14 Anhang
138
CE-Erklärung
138
Einbauerklärung
139
Kontaminationserklärung
140
Rohs
141
Werbung
Inficon LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung (141 Seiten)
Massenspektrometer-Modul
Marke:
Inficon
| Kategorie:
Modulen
| Dateigröße: 7.69 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Über diese Anleitung
7
Mitgeltende Dokumente
7
Zielgruppen
7
Warnhinweise
7
Begriffsdefinitionen
8
2 Sicherheit
11
Bestimmungsgemäße Verwendung
11
Anforderungen an den Betreiber
11
Pflichten des Bedieners
12
Gefahren
12
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
14
4 Beschreibung
15
Funktion
15
Geräteaufbau
16
Gesamtgerät (LDS3000)
16
Gesamtgerät (LDS3000 AQ)
16
Anschlussblock
20
MSB-Box
20
Typenschild
23
Technische Daten
24
Werkseinstellungen
25
5 Montage LDS3000
28
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
28
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
29
Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS Wählen
30
Komponentenverbindungen Herstellen
31
Elektrische Verbindungen Herstellen
32
6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation)
33
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
33
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
34
Komponenten Auswählen und Verbindungen Herstellen
36
Elektrische Verbindungen Herstellen
38
7 Betrieb LDS3000
39
Gerät Einschalten
39
Voreinstellungen
40
Einheit für die Leckrate Wählen
42
Einheit für den Druck Wählen
43
Kompatibilitätsmodus Wählen
43
Betriebsart Wählen
45
Gasart Wählen (Masse)
46
Gerät Kalibrieren
47
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
47
Interne Kalibrierung Konfigurieren und Starten
49
Externe Kalibrierung Konfigurieren und Starten
50
Externe Dynamische Kalibrierung Starten
52
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL
54
Kalibrierung Prüfen
55
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
55
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
55
Kalibrierfaktor Eingeben
56
Kalibrierfaktor Schnüffeln
56
Kalibrierfaktor Vakuum
56
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
57
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
57
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
58
Messung Starten und Stoppen
59
Parameter Speichern und Laden
59
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
60
Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen Unterdrücken
60
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
61
Gasballastventil der Vorvakuumpumpe Steuern
62
Anzeigegrenzen Wählen
63
Triggerwerte Einstellen
63
Kapillarüberwachung Einstellen
64
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
64
Kathode Auswählen
65
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
65
Einstellungen Zurücksetzen
68
8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
70
Gerät Einschalten
70
Voreinstellungen
70
Einheit für die Leckrate Wählen
71
Einheit für den Druck Wählen
72
Kompatibilitätsmodus Wählen
72
Basiseinstellungen über Assistent Vornehmen
75
Peak Bestimmen
76
Leckrate von Prüflecks Hinterlegen
76
Gerät Kalibrieren
77
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
77
Kalibrierfaktor Eingeben
79
Kalibrierfaktor Vakuum
79
Kalibrieren
79
ZERO Ausführen
82
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
82
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
82
Messung Durchführen
84
Parameter Speichern und Laden
85
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
85
Zerozeit Faktor AQ" Anpassen
85
Anzeigegrenzen Wählen
85
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
86
Kathode Auswählen
86
Einstellungen Zurücksetzen
87
9 Erweiterungsmodul Nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ)
88
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
88
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
88
Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
88
Ein- und Ausgänge Belegen
89
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
96
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
99
Einstellungen für das Busmodul BM1000
101
10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
102
Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
110
11 Betrieb CU1000 (Optional)
112
Elemente des Touchscreens
112
Elemente der Messanzeige
112
Elemente der Fehler- und Warnungsanzeige
115
Einstellungen und Funktionen
115
Touchscreen-Einstellungen
116
Bedienertypen und Berechtigungen
119
Bediener Abmelden
121
Daten Aufzeichnen
121
Einstellungen Zurücksetzen
121
Funktionen
121
Informationen Aufrufen
122
Software Aktualisieren
126
Software der Bedieneinheit Aktualisieren
126
Software des I/O-Moduls Aktualisieren
127
Softwareversion der MSB-Box Prüfen und Aktualisieren
127
12 Wartung
129
Wartung bei INFICON
129
Allgemeine Wartungshinweise
129
Wartungsplan
130
Wartungsarbeiten
131
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
131
13 Außerbetriebnahme
136
Lecksuchgerät Stillsetzen
136
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
136
Massenspektrometer-Modul Einsenden
136
14 Anhang
137
CE-Erklärung
137
Einbauerklärung
138
Kontaminationserklärung
139
Inficon LDS3000 AQ Betriebsanleitung (108 Seiten)
Marke:
Inficon
| Kategorie:
Sicherheitssensoren
| Dateigröße: 22.9 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Zu dieser Anleitung
6
Mitgeltende Dokumente
6
Zielgruppen
6
Warnhinweise
6
Begriffsdefinitionen
7
Kleinste Nachweisbare Leckrate
8
2 Sicherheit
9
Bestimmungsgemäße Verwendung
9
Anforderungen an den Betreiber
9
Anforderungen an den Anwender
10
Gefahren
10
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
12
4 Beschreibung
13
Funktion
13
Geräteaufbau
14
Gesamtgerät
14
Anschlussbox
15
MSB-Box
15
Typenschild
18
Technische Daten
19
Mechanische Daten
19
Elektrische Daten
19
Physikalische Daten
19
Umgebungsbedingungen
20
5 Montage
21
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
21
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
22
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Anschließen
23
Komponentenverbindungen Herstellen
25
Elektrische Verbindungen Herstellen
25
6 Betrieb LDS3000
26
Gerät Einschalten
26
Voreinstellungen
27
Kompatibilitätsmodus Wählen
28
Betriebsart Wählen
30
Gasart Wählen (Masse)
31
Gerät Kalibrieren
31
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
31
Interne Kalibrierung Konfigurieren und Starten
33
Externe Kalibrierung Konfigurieren und Starten
34
Externe Dynamische Kalibrierung Starten
37
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör)
39
Kalibrierung Prüfen
40
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
40
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
40
Kalibrierfaktor Eingeben
41
Kalibrierfaktor Schnüffeln
41
Kalibrierfaktor Vakuum
42
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
42
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
42
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
43
Messung Starten und Stoppen
44
Parameter Speichern und Laden
45
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
45
Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen Unterdrücken
45
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
47
Gasballastventil der Vorvakuumpumpe Steuern
48
Einheit für die Leckrate Wählen
48
Einheit für den Druck Wählen
49
Anzeigegrenzen Wählen
50
Triggerwerte Einstellen
50
Kapillarüberwachung Einstellen
51
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
51
Kathode Auswählen
52
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
52
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
56
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
56
Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
56
Ein- und Ausgänge Belegen
57
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
65
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
67
Einstellungen für das Busmodul BM1000
69
Warn- und Fehlermeldungen
69
Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
77
Einstellungen Zurücksetzen
78
7 Betrieb CU1000 (Optional)
79
Elemente des Touchscreens
79
Elemente der Messanzeige
79
Symbol für Achtung
80
Symbol für die Datenaufzeichnung
80
Symbol für die Kommunikationsstatus
80
Tastatursperre
80
Einstellungen und Funktionen
82
Touchscreen-Einstellungen
82
Bedienertypen und Berechtigungen
86
Bediener Abmelden
88
Daten Aufzeichnen
88
Einstellungen Zurücksetzen
88
Funktionen
88
Informationen Aufrufen
89
Software Aktualisieren
93
Software der Bedieneinheit Aktualisieren
93
Software des I/O-Moduls Aktualisieren
94
Softwareversion der MSB-Box Prüfen und Aktualisieren
94
8 Wartung
96
Wartung bei INFICON
96
Allgemeine Wartungshinweise
96
Wartungsplan
97
Wartungsarbeiten
98
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
98
9 Außerbetriebnahme
103
Lecksuchgerät Stillsetzen
103
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
103
Massenspektrometer-Modul Einsenden
103
10 Anhang
104
CE-Erklärung
104
Einbauerklärung
105
Kontaminationserklärung
106
Werbung
Inficon LDS3000 AQ Betriebsanleitung (76 Seiten)
Massenspektrometer-Modul
Marke:
Inficon
| Kategorie:
Messgeräte
| Dateigröße: 3.47 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Zu dieser Anleitung
6
Zielgruppen
6
Mitgeltende Dokumente
6
Darstellung von Informationen
6
Warnhinweise
6
Text-Auszeichnungen
7
2 Sicherheit
8
Bestimmungsgemäße Verwendung
8
Anforderungen an den Betreiber
8
Anforderungen an den Anwender
8
Allgemeine Sicherheitshinweise
9
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
10
4 Beschreibung
11
Funktion
11
Geräteaufbau
12
Gesamtgerät
12
Anschlussblock
13
MSB-Box
13
Technische Daten
15
Mechanische Daten
15
Elektrische Daten
15
Physikalische Daten
15
Umgebungsbedingungen
16
Werkseinstellungen
16
5 Montage
19
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
19
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
20
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Anschließen
21
Anschluss
22
Schlauchverbindungen Herstellen
22
Elektrische Verbindungen Herstellen
23
6 Betrieb
24
Gerät Einschalten
24
Voreinstellungen
25
Kompatibilitätsmodus und Betriebsart Wählen
25
Gasart Wählen (Masse)
27
Gerät Kalibrieren
27
Interne Kalibrierung
29
Kalibrierung Besonderheiten Intern
29
Externe Kalibrierung
30
Externe Dynamische Kalibrierung
32
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör)
34
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
34
Kalibrierung Prüfen
34
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
35
Kalibrierfaktor Eingeben
36
Kalibrierfaktor Schnüffeln
36
Kalibrierfaktor Vakuum
36
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
36
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
37
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
37
Messung Starten und Stoppen
38
Parameter Speichern und Laden
39
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
39
Gas-Untergründe mit den „ZERO"-Funktionen Unterdrücken
39
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
40
Vorvakuumpumpe Dekontaminieren
41
Einheit für die Leckrate Wählen
41
Einheit für den Druck Wählen
42
Anzeigegrenzen Wählen
42
Triggerwerte Einstellen
43
Kapillarüberwachung Einstellen
43
Turbomolekularpumpe Einrichten
43
Ionenquelle Einrichten
44
Vorverstärker Einstellen
45
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
46
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
48
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
48
6.22.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
48
6.22.2 Ein- und Ausgänge Belegen
49
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
55
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
57
Einstellungen für das Busmodul BM1000
58
Warn- und Fehlermeldungen
58
6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
65
Einstellungen Zurücksetzen
65
7 Wartung
66
Wartung bei INFICON
66
Allgemeine Wartungshinweise
66
Wartungsplan
67
Wartungsarbeiten
68
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
68
8 Außerbetriebnahme
72
Lecksuchgerät Stillsetzen
72
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
72
Massenspektrometer-Modul Einsenden
72
Anhang
73
EG-Einbauerklärung
73
Kontaminationserklärung
74
Werbung
Verwandte Produkte
INFICON LDM150R
INFICON LDM150
Inficon 351-010
Inficon 351-011
Inficon 351-012
Inficon 351-020
Inficon 351-021
Inficon 351-022
Inficon 352-480
Inficon 352-482
Inficon Kategorien
Prüfgeräte
Messgeräte
Lecksuchgerät
Sensoren
Laborzubehör & Laborgeräte
Weitere Inficon Anleitungen
Anmelden
Anmelden
ODER
Mit Facebook anmelden
Mit Google anmelden
Anleitung hochladen
Von PC hochladen
Von URL hochladen