Leckrate Von Prüflecks Hinterlegen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

INFICON
8.8 Leckrate von Prüflecks hinterlegen
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
ü Um Verfälschungen von Messergebnissen durch einen erhöhten Untergrundwert
entgegenzuwirken, haben Sie mindestens 60 Minuten Aufwärmzeit gewartet.
1
Hauptmenü > Funktionen > CAL > Peak.
2
Bestätigen Sie mit "OK".
ð Es öffnet sich das Fenster "CAL peak".
3
Entnehmen Sie das Prüfleck aus der Kammer.
4
Warten Sie, bis das Untergrundsignal stabil ist.
5
Um den stabilen Untergrundwert zu bestätigen und den Abgleich zu starten,
bestätigen Sie mit "OK".
ð (LD-Protokoll: 4, Parameter 7 (peak adjust AQ)
ASCII-Protokoll: *CAL:PEAK)
IO1000: Eingang "Peakfind"
ð (LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss anschließend abgefragt werden
über Befehl 260 (State Calibration) bzw. *STATus:CAL)
ð
Nach dem Abgleich werden die alte und die neue Anodenspannung angezeigt.
Tragen Sie einmalig die Angaben zum eingesetzten Prüfleck ein. Für jedes Gas
(Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
Bereich: 1E-9 ... 9.9E-2 mbar l / s
Mindestgröße für die Leckrate des Prüflecks
Um eine stabile Kalibrierung durchführen zu können, empfehlen wir eine
Mindestgröße für die Leckrate des verwendeten Prüflecks.
Bei Beibehaltung der vom AQ-Assistenten vorgeschlagenen Messzeit sollte die
Leckrate folgenden Wert nicht unterschreiten:
- Bei der Verwendung von Formiergas den gewählten Schwellenwert (Trigger 1)
- Bei Verwendung von Helium 1/5 des gewählten Schwellenwerts (Trigger 1)
Falls die Leckrate des verwendeten Prüflecks zu gering ist, wird zum Start oder zum
Abschluss der Kalibrierung eine Fehlermeldung ausgegeben.
Die folgenden Angaben beziehen sich auf eine CU1000, die für die Nutzung des
LDS3000 AQ angepasst wurde.
ü Die gewünschte Einheit, in der Sie die Leckrate eintragen wollen, ist eingestellt.
Sofern die in Ihrem System angezeigte Einheit der Leckrate von der Angabe der
Einheit auf dem Prüfleck abweicht, stellen Sie zumindest vorübergehend die Einheit
wie auf dem Prüfleck angegeben ein. Siehe auch "Einheit für die Leckrate wählen
[} 43]".
Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8
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