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Einheit Für Den Druck Wählen; Anzeigegrenzen Wählen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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Leckrateneinheit
Schnittstelle
6.13
Einheit für den Druck wählen
Druckeinheit Schnitt-
stelle
6.14
Anzeigegrenzen wählen
Anzeigegrenzen
42
Betrieb
Wählen der Leckrateneinheit der Schnittstellen für Vakuum bzw. Schnüffeln
– 0 mbar l/s
3
– 1 Pa m
/s
– 2 atm cc/s
– 3 Torr l/s
– 4 ppm (nicht VAC)
– 5 g/a (nicht VAC)
– 6 oz/yr (nicht VAC)
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Wählen der Druckeinheit der Schnittstellen
– 0 mbar
– 1 Pa
– 2 atm
– 3 Torr
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Absenkung und Anhebung der Anzeigegrenzen
– bis 15 Dekaden in VAC
– bis 11 Dekaden in SNIF
Wenn durch eine ungeeignete Einstellung der nutzbare Bereich geringer als eine
Dekade ausfällt, wird die obere Grenze soweit verschoben, bis eine Dekade sicht-
bar bleibt.
Hinweis:
In der Bedieneinheit werden beim Einstellen zwischen den beiden Einstellparame-
tern die aktuellen Anzeigegrenzen angezeigt. Über das LD-Protokoll können mit
dem Befehl 399 die aktuellen Anzeigegrenzen ausgelesen werden.
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Einheiten
(Schnittstelle) > Leckrateneinheit VAC (SNIF)
Befehl 431 (Vakuum)
Befehl 432 (Schnüffeln)
Befehl *CONFig:UNIT:LRVac
Befehl *CONFig:UNIT:LRSnif
Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Einheiten
(Schnittstelle) > Druckeinheit
Befehl 430 (Vakuum/Schnüffeln)
Befehl *CONFig:UNIT:Pressure
Anzeige > Grenzen
Befehl 397
Befehl *CONFig:DISPL_LIM:LOW
Befehl *CONFig:DISPL_LIM:HIGH

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Diese Anleitung auch für:

560-300

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