Wartungsarbeiten; Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

INFICON

12.4 Wartungsarbeiten

12.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen

LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Die Turbomolekularpumpe ist zur Schmierung der Kugellager mit einem Betriebsmittel
gefüllt. Ein Wechsel des Betriebsmittelspeichers muss spätestens alle 2 Jahre erfol-
gen. Unter extremen Belastungen der Pumpe oder in unreinen Prozessen muss der
Schmiermittelspeicher in kürzeren Zeitabständen gewechselt werden.
Der Verschlussdeckel des Betriebsmittelspeichers lässt sich nur herausschrauben,
wenn die Turbomolekularpumpe geflutet ist.
Turbomolekularpumpe fluten
1
Massenspektrometer-Modul außer Betrieb nehmen, siehe "Außerbetriebnahme
[} 136]".
2 Auslauf Turbomolekularpumpe abwarten (mindestens 1 min).
3
24-V-Netzteil von MSB-Box trennen.
4 Gegebenenfalls Turbomolekularpumpe auskühlen lassen.
5
Turbomolekularpumpe ausbauen.
6 Belüftungsschraube langsam öffnen.
ð
Turbomolekularpumpe flutet auf Atmosphärendruck an.
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