Drehzahl Der Turbomolekularpumpe Einstellen; Kathode Auswählen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

7 | Betrieb LDS3000

7.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen

Drehzahl der
Turbomolekularpumpe
7.19 Kathode auswählen
Auswahl einer Kathode
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In einigen Anwendungen kann es sinnvoll sein die Drehzahl der
Turbomolekularpumpe zu reduzieren, um die Empfindlichkeit des Geräts zu erhöhen.
Dadurch verringert sich allerdings der maximal zulässige Einlassdruck am GROSS-,
FINE- und ULTRA-Anschluss. Nach dem Ändern der Drehzahl ist eine erneute
Kalibrierung erforderlich!
Für Geräte mit dem Modus AQ gilt: Ändern Sie die eingestellten 1000 Hz nicht.
Drehzahl der Turbomolekularpumpe in Hertz
1000
1500
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellungen >
TMP Drehzahl
LD-Protokoll 501
ASCII-Protokoll *CONFig:SPEEDTMP
Das Massenspektrometer enthält zwei Kathoden. In der Werkseinstellung verwendet
das Gerät Kathode 1. Falls diese defekt ist, schaltet das Gerät automatisch auf die
andere Kathode um.
Mit dieser Einstellung ist es möglich, eine bestimme Kathode auszuwählen.
0 CAT1
1 CAT2
2 Auto Cat1 (automatisches Umschalten auf Kathode 2, Werkseinstellung)
3 Auto Cat2 (automatisches Umschalten auf Kathode 1)
4 OFF
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Ionenquelle >
Kathodenauswahl
LD-Protokoll 530
ASCII-Protokoll *CONFig:CAThode *STATus:CAThode
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
INFICON