Wartungsplan - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

7.3

Wartungsplan

Wartungsarbeiten
Turbomolekularpumpe Betriebsmittelspeicher tauschen,
Zubehör
Interne Kalibrierung
Externe Kalibrierung
Lecksuche MS-Modul He-Lecksuche am MS-Modul aus-
Sachschäden durch Verschmutzung
Das Massenspektrometer-Modul ist ein Präzisionsmessgerät. Schon geringe Ver-
schmutzungen können das Gerät beschädigen.
► Bei allen Wartungsarbeiten auf saubere Umgebung achten und sauberes
Werkzeug benutzen.
Wenn die Wartungsarbeiten des Wartungsplans nicht durchgeführt werden, verfällt
die Gewährleistung für das Massenspektrometer-Modul LDS3000.
Betriebsstunden 24 8000
Ersatzteil-Nr.: 200003801
Lager tauschen (empfohlen)
Lüfter reinigen und auf Funktion
kontrollieren
Schnüffelventil reinigen
Internes Prüfleck kalibrieren
Interne Kalibrierung ausführen
Externe Kalibrierung ausführen
führen
Zeitdauer 1 Jahre 2 Jahre 3 Jahre
1
X
X
2
X
1
X
1
X
X: nach Betriebsstunden oder Zeitdauer
X : nach Betriebsstunden
1
X : nach Zeitdauer
2
1: von Umwelt und Einsatz abhängig
16000 24000 36000 Service-
X
2
X
2
Wartung
stufe
II und III
III
I und II
III
III
I
I
III
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