Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

INFICON
7.8.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen
7.8.8.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen
Maschinenfaktor ein-
stellen
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
LD-Protokoll Befehl 520
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac
Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte
Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer in-
ternen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird (nach
dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem Teil-
stromverhältnis zu klein an. Mit Hilfe eines korrigierenden Maschinenfaktors für den
Vakuumbetrieb und eines Schnüffelfaktors für den Schnüffelbetrieb gibt das Messsys-
tem die tatsächliche Leckrate an. Mit den Faktoren wird also das Verhältnis des effek-
tiven Saugvermögens des Messsystem im Vergleich zum Saugvermögen des Mess-
systems an der Prüfanlage berücksichtigt.
ü Massenspektrometer-Modul intern kalibriert.
1
Externes Prüfleck mit Prüfanlage messen.
ð Das Gerät gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverhältnisses zu klein
an.
2
Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, siehe unten.
ð Das Gerät zeigt die tatsächliche Leckrate an.
Geräte im Modus AQ:
Der Maschinenfaktor "1" ist voreingestellt. Diese Einstellung soll nicht geändert wer-
den.
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie-
rung im Vakuumbetrieb.
Sollte ohne die Option Internes Prüfleck auf Wert 1,00 stehen. Bei Ändern des Wer-
tes wird die aus der Änderung resultierende Leckrate angezeigt. So wird der Ab-
gleich vereinfacht.
Wertebereich 1E-4...1E+5
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > -Maschi-
nenfak. > Masse 2 (3, 4) > Maschinenfaktor VAC H2 (M3, He)
LD-Protokoll Befehl 522
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:FACMachine
Betrieb LDS3000 | 7
57 / 141