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Messung Durchführen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
8.12 Messung durchführen
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WARNUNG
Gefahr durch implodierende Messkammer
Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit
ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein
gefährlicher Unterdruck erzeugt.
Falls die Messkammer dicht ist, nicht vakuumfest ist und weiter abgepumpt wird, kann
sie implodieren. Dies kann beispielsweise bei einer 1-l-Messkammer nach ca. 10 Mi-
nuten eintreten.
► Pumpen Sie eine Messkammer nach Ablauf der Messzeit nicht weiter ab.
► Sehen Sie geeignete Schutzmaßnahmen vor!
ü Das Gerät ist eingeschaltet.
ü Der Peak ist bestimmt worden, siehe "Peak bestimmen [} 76]".
ü Die Kalibrierung wurde durchgeführt, siehe "Kalibrieren [} 79]".
ü AQ ZERO ist bestimmt worden, siehe "ZERO ausführen [} 82]".
1
Falls Sie mit Formiergas messen, stellen Sie sicher, dass das Gerät mindestens
eine halbe Stunde gelaufen ist. Diese Zeit wird benötigt, um stabile Messungen
durchführen zu können.
ð Falls Sie mit Helium messen, beträgt diese Wartezeit ca. 10 Minuten.
2
Legen Sie das Prüfobjekt in die Messkammer und schließen Sie die Messkam-
mer. Das Prüfobjekt sollte nicht auf seine möglicherweise undichten Stellen plat-
ziert werden.
ð Es wird entweder ein unter Druck mit Helium oder Formiergas gefülltes Prüf-
objekt in die Messkammer gebracht oder es wird erst in der Messkammer mit
Druck beaufschlagt.
ð Falls das Prüfobjekt undicht ist, wird auf dem eingesetzten Display eine an-
steigende Leckrate angezeigt.
3
Warten Sie die eingestellte Messzeit ab.
ð Die Leckrate wird berechnet und angezeigt.
4
Nehmen Sie das Prüfobjekt aus der Messkammer und setzen Sie die Messun-
gen mit dem Handlungsschritt 2 fort.
ð Start- oder Stop-Tasten werden nicht verwendet.
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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