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Externe Kalibrierung Mit Der Schnüffelleitung Sl3000Xl - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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7.8.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Abb. 15: Abb. 7 Externes dynamisches Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung
SL3000XL, Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen
[} 90]"
Die Vorgehensweise entspricht der einer externen oder externen dynamischen
Kalibrierung im Schnüffelbetrieb.
Der Low Flow und der High Flow müssen separat kalibriert werden.
Um eine optimale Kalibrierung mit Wasserstoff oder Formiergas für Low Flow und
High Flow zu gewährleisten, muss das Prüfleck folgende Anforderungen erfüllen:
– 100 % H
: LR > 1 x 10
2
– Formiergas (95/5): LR > 2 x 10
Zum Kalibrieren empfehlen wir unser Prüfleck mit der Katalog-Nummer 12322.
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Betrieb LDS3000 | 7
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Lds3000 aq

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