Kalibrierung Mit Externem Prüfleck Prüfen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

6.5.5.2 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen
► Prüfung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Prüfen int.
LD-Protokoll: 4, Parameter 4
ASCII-Protokoll: *CAL:PROOFINT
IO1000: CAL Prüfen intern, siehe ab
 Prüfung wird automatisch durchgeführt.
► LD- und ASCII-Protokol: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260
bzw. *STATus:CAL
1 Externes Prüfleck öffnen bzw. Schnüffelleitung an Prüfleck halten.
2 Warten, bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil ist.
3 Prüfung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Prüfen ext.
LD-Protokoll: 4, Parameter 5
ASCII-Protokoll: *CAL:PROOFEXT
IO1000 vergleiche
 Aufforderung „Prüfleck schließen"
4 Vakuumbetrieb: Prüfleck in Prüfanlage schließen.
Schnüffelbetrieb: Schnüffelleitung von Prüfleck entfernen.
 Leckratensignal fällt ab.
5 Stabilen Untergrundmesswert bestätigen:
Bedieneinheit: „OK"
LD-Protokoll: 11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000 vergleiche
 Die Prüfung ist beendet, wenn:
Bedieneinheit: Prüfergebnis wird angezeigt
LD-Protokoll: Wie bei den anderen Schritten, muss der Verlauf abgefragt
werden
ASCII-Protokoll: Wie bei den anderen Schritten, muss der Verlauf abgefragt
werden
IO1000 vergleiche
Seite 48
Abb. 6.
Abb. 6.
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Betrieb