Gasart Wählen (Masse); Gerät Kalibrieren - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Kalibrieraufforderung
Druck-/Leckraten Einheiten (VAC/
SNIF) für alle Schnittstellen
Password
Schlüsselschalter
Betriebsart wählen
6.4 Gasart wählen (Masse)
6.5 Gerät kalibrieren
LDS2010
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min
ja
3 Level
Wirkt nur auf Bedieneinheit
Betriebsart wählen
– 0 VAC (Vakuum)
– 1 SNIF (Schnüffeln)
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Maschinen-, Kalibrier- und Schnüffelfaktor sind von der eingestellten Masse abhän-
gig und im Massenspektrometer-Modul gespeichert.
– 2 H (Wasserstoff, Formiergas)
2
3
– 3 He (Deuterium)
4
– 4 He (Helium)
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Falsche Kalibrierung durch zu niedrige Betriebstemperatur
Wird das Gerät im kalten Zustand kalibriert, kann es falsche Messergebnisse lie-
fern.
► Das Gerät muss vor der Kalibrierung mindestens 20 Minuten eingeschaltet ge-
wesen sein.
Das Gerät muss nur einmal pro Schicht in der gewünschten Betriebsart und für das
gewünschte Gas kalibriert werden. Danach können Sie ohne Neu-Kalibrierung zwi-
schen den Betriebsarten und Gasen wechseln.
Zusätzlich gilt für den Betrieb mit XL Sniffer Adapter:
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > VAC/SNIF >
Betriebsart
oder
Funktionen > VAC/SNIF > Betriebsart
Befehl 401
Befehl *CONFig:MODE
Einstellungen > Masse
Befehl 506 mit Wert 2 (3, 4)
Befehl *CONFig:MASS 2 (3, 4)
LDS3000
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min. oder TMP Dreh-
zahl geändert
Bedieneinheit und Rest getrennt
5 Level nur über Bedieneinheit
Wirkt nur auf Bedieneinheit (muss
extern angeschlossen werden (sie-
he "Schlüsselschalter" auf
Seite 55).
Betrieb
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