Begriffsdefinitionen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

INFICON

1.4 Begriffsdefinitionen

LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckraten-
anzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen Ionenstrom zu de-
tektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur Ionenbeschleunigung innerhalb
des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Einstellung der Masse.
Automatische Nullpunkteinstellung
Messung und automatische Anpassung an den Heliumuntergrund.
Durch diese Funktion wird der interne Gerätenullpunkt bestimmt, der dann vom aktuell
gemessenen Leckratensignal abgezogen wird. Falls der Lecksucher mindestens 20
Sekunden im Zustand "Standby" oder "Belüften" gelaufen ist, wird diese Funktion
durch Betätigung der Start-Taste aktiviert.
Falls der zuvor unterdrückte Heliumuntergrund später soweit sinken sollte, dass nur
die Anzeigegrenze angezeigt wird, wird der Nullpunkt automatisch angepasst.
Betriebsart
Der Lecksucher unterscheidet zwischen den Betriebsarten "Vakuum" und "Schnüf-
feln". Bei der Betriebsart "Vakuum" strömt das Prüfgas in der Regel in das Prüfobjekt
hinein. Der Druck im Prüfobjekt ist kleiner als der Umgebungsdruck.
Bei der Betriebsart "Schnüffeln" strömt das Prüfgas aus dem Prüfobjekt heraus und
wird mit einem Schnüffelhandgriff abgesaugt. Der Druck im Prüfobjekt ist größer als
der Umgebungsdruck.
FINE
FINE bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für Einlassdrücke bis
0,4 mbar. Dieser wird auch für die Betriebsart "Schnüffeln" verwendet.
GROSS
GROSS bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe mit der niedrigsten
Empfindlichkeit. Dieser lässt hohe Einlassdrücke zu (bis 15 mbar).
Interner Heliumuntergrund
Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem.
Die Größe des internen Heliumuntergrundes wird im Zustand "Standby" gemessen
und vom gemessenen Signal abgezogen (siehe oben: Automatische Nullpunkteinstel-
lung).
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