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Peak Bestimmen; Leckrate Von Prüflecks Hinterlegen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)

8.7 Peak bestimmen

8.8 Leckrate von Prüflecks hinterlegen
76 / 141
Um möglichst genaue Messergebnisse zu erreichen, sollten Sie vor einer Kalibrierung
immer den aktuellen "Peak" (Spitzenwert) bestimmen. Am Ende dieses Vorgangs wird
der Wert für die alte Anodenspannung durch den Wert für die neue Anodenspannung
ersetzt.
Der Abgleich nutzt Luft-Helium bzw. Luft-Wasserstoff. Ein Abgleich nur mit Stickstoff
ist nicht möglich.
Die folgenden Angaben zum Display beziehen sich auf eine CU1000, die für die Nut-
zung des LDS3000 AQ angepasst wurde.
ü Um Verfälschungen von Messergebnissen durch einen erhöhten Untergrundwert
entgegenzuwirken, haben Sie mindestens 60 Minuten Aufwärmzeit gewartet.
1
Hauptmenü > Funktionen > CAL > Peak.
2
Bestätigen Sie mit "OK".
ð Es öffnet sich das Fenster "CAL peak".
3
Entnehmen Sie das Prüfleck aus der Kammer.
4
Warten Sie, bis das Untergrundsignal stabil ist.
5
Um den stabilen Untergrundwert zu bestätigen und den Abgleich zu starten, be-
stätigen Sie mit "OK".
ð (LD-Protokoll: 4, Parameter 7 (peak adjust AQ)
ASCII-Protokoll: *CAL:PEAK)
IO1000: Eingang "Peakfind"
ð (LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss anschließend abgefragt werden
über Befehl 260 (State Calibration) bzw. *STATus:CAL)
ð
Nach dem Abgleich werden die alte und die neue Anodenspannung angezeigt.
Tragen Sie einmalig die Angaben zum eingesetzten Prüfleck ein. Für jedes Gas (Mas-
se) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
Bereich: 1E-9 ... 9.9E-2 mbar l / s
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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