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Werkseinstellungen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON

4.4 Werkseinstellungen

LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Max. relative Luftfeuchte von 31 °C bis 40
°C
Max. Luftfeuchte bis 31°C
Lagertemperatur
Verschmutzungsgrad
Parameter
AO Exponent obere Grenze
Betriebsart
AQ Kammervolumen
AQ Messzeit
AQ Zerozeit Faktor
Bus-Modul Adresse
Druck Kapillarüberwachung verstopft
– mit XL Sniffer Adapter (Low Flow)
Druck Kapillarüberwachung gebrochen
– mit XL Sniffer Adapter (Low Flow)
Druck Kapillarüberwachung verstopft
– mit XL Sniffer Adapter (High Flow)
Druck Kapillarüberwachung gebrochen
– mit XL Sniffer Adapter (High Flow)
Druckeinheit (Schnittstelle)
Emission
Filter Umschaltleckrate
Filter ZERO Zeit
Filterart
Gasanteil in Prozent H
Gasballast
I/O-Modul Protokoll
Kalibrieraufforderung
Kalibrierfaktor VAC/SNIF Mx
(für Vakuum, Schnüffeln und alle Mas-
sen)
560-300, 560-600
80% ... 50% (linear abfallend)
80%
-20 °C ... 60 °C
II
Werkseinstellung
1 x 10
Vakuum
AQ
1 l
10 s
1)
4
126
0,4 mbar
0,2 mbar
2 mbar
0,6 mbar
150 mbar
400 mbar
mbar
An
1 x 10
5 s
I•CAL
(M3, He)
100 %
2
5 % H
Aus
ASCII
Ein
1.0
-5
1)
1)
1)
-10
1)
(-, 100 % He)
2
Beschreibung | 4
25 / 141

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