Externe Kalibrierung Konfigurieren Und Starten - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

INFICON

7.8.3 Externe Kalibrierung konfigurieren und starten

Leckrate Prüfleck
– extern Vakuum
Leckrate Prüfleck
– extern Schnüffeln
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
LD-Protokoll Befehl 12
ASCII-Protokoll Befehl *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF)
► Kalibrierung starten
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > intern
LD-Protokoll: 4, Parameter 0
ASCII-Protokoll: *CAL:INT
IO1000: CAL intern, siehe "Einstellungen für das I/O-Modul IO1000 [} 89]"
ð
Kalibrierung wird automatisch durchgeführt.
Voraussetzung für die Kalibrierung mit dem externen Prüfleck ist die einmalige
Eingabe der Leckrate des Prüflecks und ein geöffnetes Prüfleck.
Im Vakuumbetrieb wird das Prüfleck in oder an die Prüfanlage montiert und vor der
Kalibrierung geöffnet.
Beim Schnüffelbetrieb wird mit der Schnüffel-Leitung am stets geöffneten Prüfleck
geschnüffelt.
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Bedieneinheit
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) > Prüfleck extern VAC H2 (M3,
He)
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. (für aktuelle
Masse in gewählter Einheit)
Befehl 390
Befehl *CONFig:CALleak:EXTVac (für aktuelle Masse in
gewählter Einheit)
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln >
Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) > Prüfleck extern SNIF H2 (M3,
He)
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