Kalibrierfaktor Eingeben; Kalibrierfaktor Schnüffeln; Kalibrierfaktor Vakuum; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

6.5.6

Kalibrierfaktor eingeben

6.5.6.1 Kalibrierfaktor Schnüffeln
6.5.6.2

Kalibrierfaktor Vakuum

6.5.7 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen
36
Betrieb
Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4 im Low Flow und im High Flow.
Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben.
„High Flow-" bzw. XL-Einstellungen sind nur in der Betriebsart „XL Sniffer Adapter"
verfügbar.
Der Kalibrierfaktor für Low Flow gilt auch für Schnüffelanwendungen die nicht in der
Betriebsart "XL Sniffer Adapter" durchgeführt werden.
– Kalibrierfaktor Masse 2 Low Flow
– Kalibrierfaktor Masse 3 Low Flow
– Kalibrierfaktor Masse 4 Low Flow
– Kalibrierfaktor Masse 2 High Flow
– Kalibrierfaktor Masse 3 High Flow
– Kalibrierfaktor Masse 4 High Flow
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4.
Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben.
– Kalibrierfaktor Masse 2
– Kalibrierfaktor Masse 3
– Kalibrierfaktor Masse 4
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte
Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer
internen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird
(nach dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem
Teilstromverhältnis zu klein an. Mit Hilfe eines korrigierenden Maschinenfaktors für
den Vakuumbetrieb und eines Schnüffelfaktors für den Schnüffelbetrieb gibt das
Messsystem die tatsächliche Leckrate an. Mit den Faktoren wird also das Verhältnis
des effektiven Saugvermögens des Messsystem im Vergleich zum Saugvermögen
des Messsystems an der Prüfanlage berücksichtigt.
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln >
Kalibrierfak. > Masse 2 (3, 4, 2 XL, 3 XL, 4 XL) > Kalibrierfak-
tor SNIF H2 (M3, He, XL H2, XL M3, XL He)
Befehl 519, 521
Befehl *FACtor:CALSniff bzw. *FACtor:CALSXL für die aktu-
elle Masse
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Kalibrierfak. > Masse 2 (3, 4) > Kalibrierfaktor VAC H2 (M3,
He)
Befehl 520
Befehl *FACtor:CALVac