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Anschlussblock; Msb-Box - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON

4.2.3 Anschlussblock

4.2.4 MSB-Box

Abb. 7: Anschlüsse MSB-Box
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Abb. 6: Anschlussblock
1
Anschluss ULTRA
2
Anschluss FINE/SNIFFER
OUTPUT
Anschluss für Gasballast und drei Ventile
Steckerbelegung
1
Ventil 2 (Gasballast), 24 V, max. 1 A
2
Ventil 3 (nicht verwendet, Reserve)
3
Ventil 4 (nicht verwendet, Reserve)
4
Ventil 6 (nicht verwendet, Reserve)
5
GND
3
Anschluss GROSS/FOREPUMP
Beschreibung | 4
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Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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