Wartung; Wartung Bei Inficon; Allgemeine Wartungshinweise - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

7

Wartung

7.1

Wartung bei INFICON

7.2

Allgemeine Wartungshinweise

66
Wartung
Das Massenspektrometer-Modul ist ein Dichtheitsprüfgerät für den industriellen Ein-
satz. Die verwendeten Bauteile und Baugruppen sind weitgehend wartungsarm.
Die Wartung des Massenspektrometer-Moduls beschränkt sich auf den Tausch des
Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe und die Überprüfung des Lüfters
an der Turbomolekularpumpe.
Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrags mit INFICON oder einem von
INFICON autorisierten Servicepartner.
Gefährdung der Gesundheit
Kontaminierte Geräte können die Gesundheit der INFICON-Mitarbeiter gefährden.
► Kontaminationserklärung vollständig ausfüllen.
► Kontaminationserklärung außen an der Verpackung befestigen.
Die Kontaminationserklärung ist gesetzliche Vorgabe und dient dem Schutz unserer
Mitarbeiter. Geräte, die ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandt wer-
den, schickt INFICON an den Absender zurück.
Kontaminationserklärung: Siehe
Die Wartungsarbeiten für das Massenspektrometer-Modul sind in drei Servicestufen
unterteilt:
• Servicestufe I:
• Servicestufe II:
• Servicestufe III:
Lebensgefahr durch Stromschlag
Im Inneren des Geräts liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen, an
denen elektrische Spannung anliegt, besteht Lebensgefahr.
► Vor allen Wartungsarbeiten Gerät von Stromversorgung trennen.
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Kunde ohne technische Ausbildung
Kunde mit technischer Ausbildung und INFICON-Training
INFICON-Service