Geräteaufbau; Gesamtgerät - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

4.2 Geräteaufbau
4.2.1 Gesamtgerät
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Beschreibung
Abb. 1 Massenspektrometer-Modul LDS3000
Anschlussblock. Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, Drucksensor PSG500, in-
a
ternes Prüfleck und Schnüffelleitung, siehe auch Abb. 2.
Drucksensor PSG500 zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe
b
Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit
c
Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls
d
MSB-Box. Schnittstellen des Massenspektrometer-Moduls (siehe
e
Wandler Turbomolekularpumpe
f
Elektronische Steuerung der Turbomolekularpumpe
g
Befestigungselemente zur Montage des Massenspektrometer-Moduls in einer Prüfanlage
h
Typenschild mit Kenndaten des Massenspektrometer-Moduls
i
Kapitel 4.2.3, Seite 13)