Inhaltsverzeichnis - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

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Inhaltsverzeichnis

1 Über diese Anleitung ........................................................................................................................................ 7
1.1 Mitgeltende Dokumente............................................................................................................................ 7
1.2 Zielgruppen............................................................................................................................................... 7
1.3 Warnhinweise ........................................................................................................................................... 7
1.4 Begriffsdefinitionen ................................................................................................................................... 8
2 Sicherheit........................................................................................................................................................ 11
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung........................................................................................................ 11
2.2 Anforderungen an den Betreiber ............................................................................................................ 11
2.3 Pflichten des Bedieners .......................................................................................................................... 12
2.4 Gefahren................................................................................................................................................. 12
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ................................................................................................................ 14
4 Beschreibung.................................................................................................................................................. 15
4.1 Funktion .................................................................................................................................................. 15
4.2 Geräteaufbau.......................................................................................................................................... 16
4.2.1 Gesamtgerät (LDS3000)............................................................................................................. 16
4.2.2 Gesamtgerät (LDS3000 AQ)....................................................................................................... 16
4.2.3 Anschlussblock ........................................................................................................................... 20
4.2.4 MSB-Box..................................................................................................................................... 20
4.2.5 Typenschild................................................................................................................................. 23
4.3 Technische Daten................................................................................................................................... 24
4.4 Werkseinstellungen ................................................................................................................................ 25
5 Montage LDS3000.......................................................................................................................................... 28
5.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen ..................................................................... 28
5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren........................................................................... 29
5.3 Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS wählen...................................................................................... 30
5.4 Komponentenverbindungen herstellen ................................................................................................... 31
5.5 Elektrische Verbindungen herstellen ...................................................................................................... 32
6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) .......................................................................................................... 33
6.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen ..................................................................... 33
6.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren........................................................................... 34
6.3 Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen ........................................................................ 36
6.4 Elektrische Verbindungen herstellen ...................................................................................................... 38
7 Betrieb LDS3000 ............................................................................................................................................ 39
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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