Kalibrierfaktor Vakuum; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

6 | Betrieb LDS3000

6.6.7.2 Kalibrierfaktor Vakuum

6.6.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen
6.6.8.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen
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Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4.
Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben.
0,01 ... 5000
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > Kalibrier-
fak. > Masse 2 (3, 4) > Kalibrierfaktor VAC H2 (M3, He)
LD-Protokoll Befehl 520
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac
Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte
Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer in-
ternen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird (nach
dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem Teil-
stromverhältnis zu klein an. Mit Hilfe eines korrigierenden Maschinenfaktors für den
Vakuumbetrieb und eines Schnüffelfaktors für den Schnüffelbetrieb gibt das Messsys-
tem die tatsächliche Leckrate an. Mit den Faktoren wird also das Verhältnis des effek-
tiven Saugvermögens des Messsystem im Vergleich zum Saugvermögen des Mess-
systems an der Prüfanlage berücksichtigt.
ü Massenspektrometer-Modul intern kalibriert.
1 Externes Prüfleck mit Prüfanlage messen.
ð Das Gerät gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverhältnisses zu klein
an.
2
Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, siehe unten.
ð Das Gerät zeigt die tatsächliche Leckrate an.
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)