Technische Daten - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

4 | Beschreibung

4.3 Technische Daten

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Mechanische Daten
Elektrische Daten
Stromaufnahme
Physikalische Daten
Ansprechzeit Schnüffelbetrieb
Maximaler Einlassdruck
Hochlaufzeit
Messbare Gase
Kleinste nachweisbare Leckrate Vakuum-
betrieb
Kleinste nachweisbare Leckrate Schnüf-
felbetrieb
Messbare Massen
Ionenquelle
Kleinste nachweisbare Leckrate Formier-
gas oder Helium
Messbereich
Druck in Testkammer
Zeitkonstante des Leckratensignals
Umgebungsbedingungen
Zulässige Umgebungstemperatur (im Be-
trieb)
Max. Höhe über Meeresspiegel
Zulässiges Magnetfeld max.
Max. relative Luftfeuchte über 40 °C
560-300, 560-600
max. 10 A
560-300, 560-600
Gross: < 5 s, Fine/Ultra: < 1 s
0,2 mbar - 18 mbar
150 s
Helium, Wasserstoff
5E-12 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
4He, H2, Masse 3 (z. B. H-D, 3He oder
H3)
2 longlife Iridium Filamente, Yttriumoxid
beschichtet
560-600 (Modus AQ)
-7
1 x 10 mbar l/s
6 Dekaden
1 atm
< 1 s
560-300, 560-600
10 °C ... 45 °C
2000 m
7 mT
50%
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
INFICON