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Umgebungsbedingungen; Werkseinstellungen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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4.3.4

Umgebungsbedingungen

4.3.5

Werkseinstellungen

16
Beschreibung
Betrieb im Vakuummodus
Kleinste nachweisbare Leckrate
Helium (je nach Drehzahl der Turbo-
molekularpumpe):
Zeit bis zur Betriebsbereitschaft
Betrieb im Schnüffelmodus
Kleinste nachweisbare Leckrate-
Helium (je nach Drehzahl der Turbo-
molekularpumpe):
Ansprechzeit Schnüffelbetrieb
Zulässige Umgebungstemperatur
(im Betrieb)
Zulässige Lagertemperatur
Max. relative Luftfeuchte bis 31 °C
Max. relative Luftfeuchte von 31 °C bis 40 °C
Max. relative Luftfeuchte über 40 °C
Schutzart
Verschmutzungsgrad
Max. Höhe über Meeresspiegel
Max. Induktion
Parameter
AO Exponent obere Grenze
Betriebsart
Bus-Modul Adresse
Druck Kapillarüberwachung verstopft
– mit XL Sniffer Adapter (Low Flow)
Druck Kapillarüberwachung gebrochen
– mit XL Sniffer Adapter (Low Flow)
Druck Kapillarüberwachung verstopft
– mit XL Sniffer Adapter (High Flow)
Druck Kapillarüberwachung gebrochen
– mit XL Sniffer Adapter (High Flow)
Druckeinheit (Schnittstelle)
Emission
Filter Umschaltleckrate
Filter ZERO Zeit
Filterart
Gasanteil in Prozent H2 (M3, He)
Gasballast
I/O-Modul Protokoll
Kalibrieraufforderung
-12
5 x 10
mbar l/s
150 s
-7
1 x 10
mbar l/s
Gross: < 5 s, Fine/Ultra: < 1 s
10 °C ... 45 °C
-20 °C ... 60 °C
80%
linear abfallend von 80% bis 50%
50%
IP40
II
2000 m
7 mT
Werkseinstellung
-5
1 x 10
Vakuum
126
0,4 mbar
0,2 mbar
2 mbar
0,6 mbar
150 mbar
400 mbar
mbar
An
-10
1 x 10
5 s
I•CAL
100 %
Aus
ASCII
Ein

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560-300

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