Anschluss Ultra, Fine Oder Gross Wählen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

5 | Montage LDS3000
5.3 Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS wählen
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Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und
Transportmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des
Massenspektrometer-Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden –
nicht die Transportmuttern.
Der Untergrund muss stabil sein.
WARNUNG
Schwere Verletzungen durch Ausbruch des Massenspektrometer-Moduls
Wenn das Massenspektrometer-Modul nicht ausreichend festgeschraubt ist, kann ein
plötzlich blockierender Rotor der Turbomolekularpumpe bewirken, dass das
Massenspektrometer-Modul ausbricht. Schwerste Verletzungen können die Folge
sein.
► Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein
Bremsmoment von 820 Nm aufnehmen kann.
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Durchgangsbohrungen bohren:
– X-Abstand: 283 mm
– Y-Abstand: 121,5 mm
– Durchgangsbohrung in Blech: Ø 9 mm
– Befestigungsschrauben: M8 x 50
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Transportmuttern demontieren.
3 Massenspektrometer-Modul auf Durchgangsbohrungen setzen und mit
Befestigungselementen wie in obiger Abbildung gezeigt festschrauben
Die Betriebsart des Vakuumanschlusses und die Drehzahl der Turbomolekularpumpe
legen fest:
• Kleinste nachweisbare Leckrate (KnL)
• Dauerhaft zulässiger Einlassdruck (p
• Saugvermögen (S)
Die folgenden Angaben gelten für den Einsatz von Helium als Prüfgas.
Um die KnL zu erreichen, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein:
• Der LDS3000 muss mindestens 20 Minuten in Betrieb sein.
• Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/
Stoße, saubere Umgebung)
)
max
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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