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Begriffsdefinitionen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON

1.4 Begriffsdefinitionen

LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Erwähnung von Helium im Handbuch
Das Gerät ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät. Falls Sie statt Helium Formiergas
einsetzen, um den darin enthaltenen Wasserstoff nachzuweisen, gelten die Hinweise
zu Helium auch für Wasserstoff.
Akkumulation
In Zusammenhang mit der Dichtheitsprüfung geht es um die Anreicherung von
Prüfgasen über einen definierbaren Zeitraum. Dies ermöglicht den Nachweis kleiner
Leckraten ohne die Nutzung einer Vakuumkammer. Helium oder Formiergas kann
verwendet werden.
Wenn in diesem Handbuch von "AQ" die Rede ist, geht es um den
Akkumulationsmodus. Er steht nur bei Geräten in der Ausführung AQ zur Verfügung.
Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale
Leckratenanzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen
Ionenstrom zu detektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur
Ionenbeschleunigung innerhalb des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Abstimmung.
Betriebsart
Der Lecksucher unterscheidet zwischen den Betriebsarten "Vakuum" und
"Schnüffeln". Bei der Betriebsart "Vakuum" strömt das Prüfgas in der Regel in das
Prüfobjekt hinein. Der Druck im Prüfobjekt ist kleiner als der Umgebungsdruck.
Bei der Betriebsart "Schnüffeln" strömt das Prüfgas aus dem Prüfobjekt heraus und
wird mit einem Schnüffelhandgriff abgesaugt. Der Druck im Prüfobjekt ist größer als
der Umgebungsdruck.
FINE
FINE bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für Einlassdrücke bis
0,4 mbar. Dieser wird auch für die Betriebsart "Schnüffeln" verwendet.
Formiergas
Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff.
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