Messung Durchführen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
Schnüffelfaktor
einstellen
8.12 Messung durchführen
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Sollte ohne die Option Internes Prüfleck auf Wert 1,00 stehen. Bei Ändern des
Wertes wird die aus der Änderung resultierende Leckrate angezeigt. So wird der
Abgleich vereinfacht.
Wertebereich 1E-4...1E+5
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > -
Maschinenfak. > Masse 2 (3, 4) > Maschinenfaktor VAC H2 (M3,
He)
LD-Protokoll Befehl 522
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:FACMachine
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen
Kalibrierung im Schnüffelbetrieb
Wertebereich 1E-4...1E+4
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > -
Schnüffelfak. > Masse 2 (3, 4) > Schnüffelfaktor H2 (M3, He)
LD-Protokoll Befehl 523
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:FACSniff
WARNUNG
Gefahr durch implodierende Messkammer
Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit
ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein
gefährlicher Unterdruck erzeugt.
Falls die Messkammer dicht ist, nicht vakuumfest ist und weiter abgepumpt wird, kann
sie implodieren. Dies kann beispielsweise bei einer 1-l-Messkammer nach ca. 10
Minuten eintreten.
► Pumpen Sie eine Messkammer nach Ablauf der Messzeit nicht weiter ab.
► Sehen Sie geeignete Schutzmaßnahmen vor!
ü Das Gerät ist eingeschaltet.
ü Der Peak ist bestimmt worden, siehe "Peak bestimmen [} 76]".
ü Die Kalibrierung wurde durchgeführt, siehe "Kalibrieren [} 80]".
ü AQ ZERO ist bestimmt worden, siehe "ZERO ausführen [} 82]".
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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