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Basiseinstellungen Über Assistent Vornehmen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON
ZERO bei Start
Öffnen des Schnüffelventils
Drehzahl der
Turbomolekularpumpe
Adresse RS485
Schnüffeltaster ein/aus
Defaultwert für Int. Prüfleck
Defaultwert Ext. Prüfleck VAC/
SNIF-Mode
Einstellbereich int. Prüfleck
Abgleich Maschinenfaktor
Wertebereich Maschinen-/
Schnüffelfaktor
Druck: Kapillarüberwachung 20
Analogausgang
Kalibrieraufforderung
Druck-/Leckraten Einheiten (VAC/
SNIF) für alle Schnittstellen
Benutzerberechtigungen
Schlüsselschalter
8.6 Basiseinstellungen über Assistent vornehmen
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
LDS2010
in SNIF nach Start
nur 2 Drehzahlen
ja, da BUS-fähig
wählbar
1E-15 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
10E-7
manuell
Maschinenfaktor: 1E-3...9.9E+3
Schnüffelfaktor: 1E-3...9.9E+3
feste Kennlinien
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min
ja
3 Ebenen über PIN an
Gerätebedienung oder
Schlüsselschalter
fest eingebaut
Wir empfehlen die Nutzung des AQ-Assistenten für wichtige Einstellungen und zum
Kalibrieren. Die folgenden Angaben beziehen sich auf eine CU1000, die für die
Nutzung des LDS3000 AQ angepasst wurde.
Falls Sie von den Standard-Einstellungen abweichen wollen oder sich über
Schnittstellen-Protokoll-Befehle informieren wollen, finden Sie Details in weiteren
Kapiteln des vorliegenden Handbuchs.
Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8
LDS3000
ab V1.02 wie LDS2010
in SNIF nach Start
über serielle Schnittstelle von
750 Hz bis 1500 Hz einstellbar,
über Gerätebedienung 1000 Hz und
1500 Hz
nein, da nicht Bus-fähig
wählbar
9.9E2 mbar l/s
9.9E2 mbar l/s
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
manuell/automatisch
Maschinenfaktor: 1E-4...1E+5
Schnüffelfaktor: 1E-4...1E+4
vorhanden, Druck einstellbar
frei konfigurierbar
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min. oder TMP
Drehzahl geändert
Bedieneinheit und Rest getrennt
4 Ebenen über Bedieneinheit oder
optionalen Schlüsselschalter
kann, falls benötigt, extern
angeschlossen werden, siehe
"Digitale Eingänge des I/O-Moduls
belegen [} 98]" (Schlüsselschalter)
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Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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