Gesamtgerät (Lds3000 Aq) - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

INFICON
4.2.2 Gesamtgerät (LDS3000 AQ)
1 Messkammer mit Lüfter. Nicht im Lieferumfang.
2 ISO-KF DN16 (Einschraubflansch). Nicht im Lieferumfang. Sie können den Einschraubflansch über die
Homepage von INFICON unter "Vakuumkomponenten" beziehen.
3 Einlassmodul
4 Wellschlauch. Nicht im Lieferumfang. Sie können den Wellschlauch über die Homepage von INFICON
unter "Vakuumkomponenten" beziehen.
5 Blindflansch
6 Massenspektrometer-Modul
7 Netzteil 24 V
8 Trockene Vorpumpe mit separater Stromversorgung. Nicht im Lieferumfang. Sie können die
"Membranpumpe LDS AQ" von INFICON unter der Bestellnummer 560-630 beziehen, ferner das "DIN-
Schienennetzteil 24 V, 10 A" unter der Bestellnummer 560-324.
9 GROSS-Drosselflansch
10 Drucksensor PSG500 zur Messung des Einlassdrucks
11 Ohne Abbildung: ISO-K Zentrierringe und Dichtungen. Nicht im Lieferumfang. Sie können sie über die
Homepage von INFICON unter "Vakuumkomponenten" beziehen.
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
In der Ausführung Akkumulation wird das Massenspektrometer-Modul durch Hard-
und Software in einen besonderen Messaufbau eingebunden.
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Abb. 2: Akkumulation: Überblick über den Aufbau
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