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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung
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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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Original-Betriebsanleitung
LDS3000, LDS3000 AQ
Massenspektrometer-Modul
560-300, 560-600
Ab Software-Version:
jiqa54de1-07-(1803)
MS-Modul 2.71

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Verwandte Anleitungen für INFICON LDS3000 AQ

Inhaltszusammenfassung für INFICON LDS3000 AQ

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung LDS3000, LDS3000 AQ Massenspektrometer-Modul 560-300, 560-600 Ab Software-Version: jiqa54de1-07-(1803) MS-Modul 2.71...
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.3 Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS wählen.................. 30 5.4 Komponentenverbindungen herstellen .................... 31 5.5 Elektrische Verbindungen herstellen ...................... 32 6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) ...................... 33 6.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen .............. 33 6.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren................ 34 6.3 Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen ................ 36 6.4 Elektrische Verbindungen herstellen ...................... 38...
  • Seite 4 7.15 Anzeigegrenzen wählen ......................... 63 7.16 Triggerwerte einstellen ........................... 63 7.17 Kapillarüberwachung einstellen ...................... 64 7.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen .................. 64 7.19 Kathode auswählen .......................... 65 7.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter.................... 65 7.21 Einstellungen zurücksetzen ........................ 68 8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) ...................... 70 8.1 Gerät einschalten............................ 70 LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
  • Seite 5 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen................ 96 9.2.2.2 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen............... 99 9.3 Einstellungen für das Busmodul BM1000..................... 101 10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) ................ 102 10.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs ............... 110 11 Betrieb CU1000 (optional) .......................... 112 11.1 Elemente des Touchscreens ........................ 112 11.1.1 Elemente der Messanzeige ......................
  • Seite 6 11.3.4 Software aktualisieren.......................  126 11.3.4.1 Software der Bedieneinheit aktualisieren................. 126 11.3.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren.......... 127 11.3.4.3 Software des I/O-Moduls aktualisieren ................ 127 12 Wartung ................................ 129 12.1 Wartung bei INFICON........................... 129 12.2 Allgemeine Wartungshinweise...................... 129 12.3 Wartungsplan............................ 130 12.4 Wartungsarbeiten .......................... 131 12.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen ............ 131 13 Außerbetriebnahme............................ 136...

  • Seite 7: Über Diese Anleitung

    Eigentum der entsprechenden Rechtein- haber sind. Die vorliegende Betriebsanleitung beschreibt Einbau und Bedienung des LDS3000 Massenspektrometer-Moduls. Es ist in zwei Varianten erhältlich: • LDS3000 • LDS3000 AQ (Akkumulation), umschaltbar auch auf alle anderen Betriebs-Modi. 1.1 Mitgeltende Dokumente Betriebsanleitung Bedieneinheit CU1000 jina54 Betriebsanleitung Bus-Modul...

  • Seite 8: Begriffsdefinitionen

    1 | Über diese Anleitung INFICON VORSICHT Gefährliche Situation mit leichten Verletzungen als Folge HINWEIS Gefährliche Situation mit Sach- oder Umweltschäden als Folge 1.4 Begriffsdefinitionen Erwähnung von Helium im Handbuch Das Gerät ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät. Falls Sie statt Helium Formiergas einset- zen, um den darin enthaltenen Wasserstoff nachzuweisen, gelten die Hinweise zu He- lium auch für Wasserstoff.
  • Seite 9 INFICON Über diese Anleitung | 1 FINE FINE bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für Einlassdrücke bis 0,4 mbar. Dieser wird auch für die Betriebsart “Schnüffeln“ verwendet. Formiergas Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff. GROSS GROSS bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe mit der niedrigsten Empfindlichkeit.
  • Seite 10 1 | Über diese Anleitung INFICON ZERO Es gibt Helium, das während einer Messung als natürlicher Bestandteil der Umge- bungsluft z. B. an der Oberfläche eines Prüfkörpers schwach gebunden ist und nach und nach in das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts gepumpt wird. Es erzeugt ein langsam fallendes Messsignal.

  • Seite 11: Sicherheit

    Der LDS3000 ist für die Über- und die Unterdruckprüfung geeignet, wobei neben der Prüfung im Vakuum auch eine lokale Prüfung mit einer Schnüffelleitung möglich ist. Der LDS3000 AQ ist für die Messung von Prüfgasen bei deren Anreicherung in einer externen Messkammer vorgesehen, kann aber auch für alle anderen Verwendungs- zwecke umgebaut werden.

  • Seite 12: Pflichten Des Bedieners

    2 | Sicherheit INFICON • Erfüllen Sie die folgenden Vorschriften und überwachen Sie deren Einhaltung: – Bestimmungsgemäße Verwendung – Allgemein gültige Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften – International, national und lokal geltende Normen und Richtlinien – Zusätzliche gerätebezogene Bestimmungen und Vorschriften • Verwenden Sie ausschließlich Originalteile oder vom Hersteller genehmigte Teile.
  • Seite 13 Gegenstände. • Treffen Sie geeignete Schutzvorkehrungen. Gefahr durch implodie- Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit rende Messkammer ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein gefährlicher Unterdruck erzeugt.

  • Seite 14: Lieferumfang, Transport, Lagerung

    (nur bei Ausführung LDS3000 Betriebsanleitung USB-Stick mit Anleitungen, 3D-Zeichnungen und Videos 1.) Beinhaltet entweder 560-300 LDS3000 oder 560-600 LDS3000 AQ (Akkumulati- on). 2.) Siehe “Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen [} 36]“. ► Den Lieferumfang bitte nach Erhalt des Geräts auf Vollständigkeit prüfen.

  • Seite 15: Beschreibung

    Dieser Anstieg wird gemessen und als Leckrate ausgegeben. Geräteschnittstellen Das Massenspektrometer-Modul ist ein Teil des Dichtheitsprüfsystems LDS3000 und LDS3000 AQ. Es kann zusammen mit einem BUS-Modul oder I/O-Modul und einem Datenkabel ohne zusätzliches INFICON-Zubehör in einer Prüfanlage betrieben wer- den.

  • Seite 16: Geräteaufbau

    [} 20]") Wandler Turbomolekularpumpe Befestigungselemente zur Montage des Massenspektrometer-Moduls in einer Prüfanlage Typenschild mit Kenndaten des Massenspektrometer-Moduls 4.2.2 Gesamtgerät (LDS3000 AQ) In der Ausführung Akkumulation wird das Massenspektrometer-Modul durch Hard- und Software in einen besonderen Messaufbau eingebunden. 16 / 141 LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
  • Seite 17 INFICON Beschreibung | 4 4 11 4 10 Abb. 2: Akkumulation: Überblick über den Aufbau 1 Messkammer mit Lüfter 7 Netzteil 24 V 2 ISO-KF DN16 8 Trockene Vorpumpe mit separater Stromversorgung) 3 Einlassmodul 9 Schlauch ID 10 4 Wellschlauch 10 Gerade-Verbinder 8 auf 10 mm...
  • Seite 18 4 | Beschreibung INFICON Abb. 3: Massenspektrometer-Modul (Ausführung Akkumulation) 1 Drucksensor PSG500 zur Mes- 2 Verbindungsschlauch zur Vorpum- sung des Einlassdrucks 3 Wellschlauch zur Messkammer 4 ULTRA-Anschlüsse bindgeflanscht Abb. 4: Einlassmodul. Es benötigt für den Anschluss an eine Messkammer keinen elektrischen Anschluss.
  • Seite 19 ZERO-Funktion sich nur auf der INFICON Bedieneinheit CU1000 befindet. Siehe auch “Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen [} 36]“. Optionales Zubehör Mit Ausnahme der Messkammer werden die benötigten Teile auch von INFICON an- von INFICON geboten. • Bedieneinheit CU1000 (inkl. Assistent zur Vornahme wichtiger Einstellungen) •...

  • Seite 20: Anschlussblock

    4 | Beschreibung INFICON 4.2.3 Anschlussblock Abb. 6: Anschlussblock Anschluss ULTRA Anschluss GROSS/FOREPUMP Anschluss FINE/SNIFFER 4.2.4 MSB-Box Abb. 7: Anschlüsse MSB-Box OUTPUT Anschluss für Gasballast und drei Ventile Steckerbelegung Ventil 2 (Gasballast), 24 V, max. 1 A Ventil 3 (nicht verwendet, Reserve)
  • Seite 21 INFICON Beschreibung | 4 SNIFFER Elektrischer Anschluss für Schnüffelleitung GAUGES, EXT Anschluss für optionale externe Druckmessstellen (0 ... 10 V/0 … 20 mA) für INFI- CON-Service Steckerbelegung +24-V-Output, max. 200 mA Input für P3-Service-Druckmessstelle, 0 ... 10 V Referenz zum Input für P3-Service-Druckmessstelle 20-mA-Input für P3-Service-Druckmessstelle...
  • Seite 22 Software wird aktualisiert Grün Grün, blinkt Software wird aktualisiert SERVICE RS232-Anschluss für INFICON-Service I/O / ANYBUS CONTROL UNIT Anschluss für I/O-Modul oder Bus-Modul oder Bedieneinheit Die Anschlüsse „I/O Anybus“ und „Control Unit“ haben die gleiche Funktionalität. Es können wahlweise angeschlossen werden: –...

  • Seite 23: Typenschild

    INFICON Beschreibung | 4 4.2.5 Typenschild Auf dem Gerät befindet sich ein Typenschild. Die Symbole auf dem Typenschild ha- ben folgende Bedeutung: Kennzeichen zur Rückführung in den Wiederverwertungskreislauf Gerät darf nicht im Hausmüll entsorgt werden Informationen auf dem Typenschild sind: •...

  • Seite 24: Technische Daten

    4 | Beschreibung INFICON 4.3 Technische Daten Mechanische Daten Elektrische Daten 560-300, 560-600 Stromaufnahme max. 10 A Physikalische Daten 560-300, 560-600 Ansprechzeit Schnüffelbetrieb Gross: < 5 s, Fine/Ultra: < 1 s Maximaler Einlassdruck 0,2 mbar - 18 mbar Hochlaufzeit 150 s...

  • Seite 25: Werkseinstellungen

    INFICON Beschreibung | 4 560-300, 560-600 Max. relative Luftfeuchte von 31 °C bis 40 80% ... 50% (linear abfallend) °C Max. Luftfeuchte bis 31°C Lagertemperatur -20 °C ... 60 °C Verschmutzungsgrad 4.4 Werkseinstellungen Parameter Werkseinstellung AO Exponent obere Grenze 1 x 10...
  • Seite 26 4 | Beschreibung INFICON Parameter Werkseinstellung Kathodenauswahl Auto Cat1 Kompatibilitätsmodus LDS3000 Konfig. Analog-Ausgang 1 Leckrate Mantisse Konfig. Analog-Ausgang 2 Leckrate Exponent Konfig. Analog-Ausgang Skalierung 0,5 V / Dekade Konfiguration digitale Ausgänge Pin 1: Trigger 1, invertiert Pin 2: Trigger 2, invertiert...
  • Seite 27 INFICON Beschreibung | 4 Parameter Werkseinstellung Modul am I/O-Anschluss IO1000 Nominalzustand TMP Prüfleck extern SNIF 9.9 x 10 Prüfleck extern VAC 9.9 x 10 Prüfleck intern 9.9 x 10 Prüfleck intern öffnen Schnüffelleitungserkennung Schnüffler Taste ZERO Sprache Englisch TMP-Drehzahl 1500...

  • Seite 28: Montage Lds3000

    5 | Montage LDS3000 INFICON 5 Montage LDS3000 5.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen Standort wählen Wählen Sie für den Messaufbau eine möglichst heliumfreie Umgebung. Für verlässli- che Messungen mit dem Gerät muss der Heliumgehalt in der Luft kleiner als 10 ppm sein.

  • Seite 29: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren

    INFICON Montage LDS3000 | 5 5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren Das Massenspektrometer-Modul kann in allen Lagen montiert werden. Abb. 9: Komponenten eines Befestigungselements Innensechskantschraube M8 x 50 Mutter M8 (selbstsichernd) Unterlegscheibe Grundrahmen MO-Lager Federgummi Prüfanlage Führung MSB-Box Sie benötigen: - Selbstsichernde Muttern M8 - Maulschlüssel SW13...

  • Seite 30: Anschluss Ultra, Fine Oder Gross Wählen

    5 | Montage LDS3000 INFICON Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und Trans- portmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des Massenspektrometer- Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden – nicht die Transport- muttern. Der Untergrund muss stabil sein.

  • Seite 31: Komponentenverbindungen Herstellen

    INFICON Montage LDS3000 | 5 • Der Prüfling muss so lange bei ausgeschaltetem ZERO betrieben werden, bis der Untergrund stabil ist. Erst danach darf die ZERO-Funktion eingeschaltet werden. Anschluss Drehzahl Turbomolekularpumpe 1000 Hz 1500 Hz ULTRA KnL: 5 x 10...

  • Seite 32: Elektrische Verbindungen Herstellen

    5 | Montage LDS3000 INFICON Für den Schnüffelbetrieb Schnüffelleitung an einen der FINE-/SNIFFER-An- schlüsse anschließen. Falls vorhanden, das interne Prüfleck 560-323 an zweiten freien Flansch (FINE bzw. ULTRA) des Vakuumanschlusses anschließen. Falls ein Schnüffelventil verwendet wird: Damit das Gerät beim Öffnen des Schnüffel- ventils fehlerfrei arbeitet, darf zwischen Anschlussblock und Schnüffelventil sowie...

  • Seite 33: Montage Lds3000 Aq (Akkumulation)

    INFICON Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6 6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) 6.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen Standort wählen Wählen Sie für den Messaufbau eine möglichst heliumfreie Umgebung. Für verlässli- che Messungen mit dem Gerät muss der Heliumgehalt in der Luft kleiner als 10 ppm sein.

  • Seite 34: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren

    6 | Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON 6.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren Das Massenspektrometer-Modul kann in allen Lagen montiert werden. Abb. 11: Komponenten eines Befestigungselements Innensechskantschraube M8 x 50 Mutter M8 (selbstsichernd) Unterlegscheibe Grundrahmen MO-Lager Federgummi Prüfanlage Führung MSB-Box Sie benötigen: - Selbstsichernde Muttern M8 - Maulschlüssel SW13...
  • Seite 35 INFICON Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6 Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und Trans- portmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des Massenspektrometer- Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden – nicht die Transport- muttern. Der Untergrund muss stabil sein.

  • Seite 36: Komponenten Auswählen Und Verbindungen Herstellen

    5 Blindflansch 11 Adapter auf DN16 6 Massenspektrometer-Modul ü Sie verfügen über das Massenspektrometer-Modul (Akkumulation) von INFICON, einen Wellschlauch und die abgebildeten Verbindungen. ü Sie verfügen über eine trockene Vorvakuumpumpe mit eigener Stromversorgung. Sie können alle trockenen Vakuumpumpen mit einem Gasdurchfluss von mehr als 60 sccm bei einem Basisdruck von unter 5 mbar verwenden.
  • Seite 37 Schlauch ID 10 mm mit der trockenen Vorpumpe. Stellen Sie die elektrische Verbindung der Vorpumpe her. Bei Verwendung der INFICON Vorpumpe (Katalog-Nummer 560-630) gehen Sie folgendermaßen vor: ð Stellen Sie fest, ob die Plus- und die Minus-Klemme der Anschlussleiste be- reits durch den Hersteller mit Kabeln verbunden sind.

  • Seite 38: Elektrische Verbindungen Herstellen

    6 | Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON ð Wenn nein, stecken Sie Plus- und Minus Kabel mit Aderendhülsen 8 mm AWG 18 mit roter Isolierung in die zugehörigen Anschlussklemmen und ver- binden danach die Kabel mit einer Gleichstromquelle, 24 V +/- 10 %, 5 A.

  • Seite 39: Betrieb Lds3000

    SL3000XL können zudem Leckstellen bei verschlechterter Nachweisgrenze in einem größeren Abstand von der vermutlichen Leckstelle erfasst werden (Betrieb im „High Flow“). Auch LDS3000 AQ-Geräte können verwendet werden, falls sie nicht im Modus AQ be- trieben werden. Weitergehende Informationen zur Bedieneinheit, den Modulen und dem XL Sniffer Ad- apter enthalten die Dokumente: •...

  • Seite 40: Voreinstellungen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON ð System läuft automatisch hoch. ð Falls ein XL Sniffer Adapter und die CU1000 angeschlossen sind, werden Sie nach dem Hochlaufen gefragt, ob die Betriebsart “XL Sniffer Adapter“ eingestellt werden soll. Dies gilt nicht für Geräte im Modus AQ.
  • Seite 41 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Bedieneinheit Einstellungen > Datum/Uhrzeit > Uhrzeit LD-Protokoll Befehl 450 ASCII-Protokoll *HOUR:TIME LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803) 41 / 141...

  • Seite 42: Einheit Für Die Leckrate Wählen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON 7.3 Einheit für die Leckrate wählen Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit in der Anzeige für Vakuum bzw. Schnüffeln Anzeige mbar l/s (Werkseinstellung) Pa m3/s atm cc/s Torr l/s ppm (nicht VAC, nicht AQ) g/a (nicht VAC, nicht AQ)

  • Seite 43: Einheit Für Den Druck Wählen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 7.4 Einheit für den Druck wählen Druckeinheit Wählen der Druckeinheit der Schnittstellen Schnittstelle mbar (Werkseinstellung) Torr Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Einheiten (Schnitt- stelle) > Druckeinheit LD-Protokoll Befehl 430 (Vakuum/Schnüffeln) ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:UNIT:Pressure 7.5 Kompatibilitätsmodus wählen...
  • Seite 44 7 | Betrieb LDS3000 INFICON Die folgende Tabelle zeigt die funktionellen Unterschiede und Gemeinsamkeiten zwi- schen LDS2010 und LDS3000: LDS2010 LDS3000 Triggerausgänge ohne gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug sonstige Ausgänge mit gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug Trigger 1 (Schnüffel-LED, Relais- Ansteuerung Schnüffel-LED, PWM-...

  • Seite 45: Betriebsart Wählen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 LDS2010 LDS3000 Drehzahl der Turbomolekularpum- nur 2 Drehzahlen über serielle Schnittstelle von 750 Hz bis 1500 Hz einstellbar, über Gerätebedienung 1000 Hz und 1500 Hz Adresse RS485 ja, da BUS-fähig nein, da nicht Bus-fähig Schnüffeltaster ein/aus wählbar wählbar Defaultwert für Int. Prüfleck 1E-15 mbar l/s 9.9E2 mbar l/s...

  • Seite 46: Gasart Wählen (Masse)

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Beim LDS3000 AQ ist “AQ“ voreingestellt. ► Falls erforderlich, können Sie “AQ“ unter "Kompatibilitätsmodus" erneut einstellen. Betriebsart wählen VAC (Vakuum) SNIF (Schnüffeln) Betriebsart XL Sniffer Adapter Bedieneinheit Betriebsart Vakuumbetrieb oder Schnüffelbetrieb: Hauptmenü > Funktionen > VAC/SNIF Betriebsart XL Sniffer Adapter: Einstellungen >...

  • Seite 47: Gerät Kalibrieren

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 7.8 Gerät kalibrieren 7.8.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen HINWEIS Falsche Kalibrierung durch zu niedrige Betriebstemperatur Wird das Gerät im kalten Zustand kalibriert, kann es falsche Messergebnisse liefern. ► Für eine optimale Genauigkeit sollte das Gerät mindestens 20 Minuten eingeschal- tet gewesen sein.
  • Seite 48 7 | Betrieb LDS3000 INFICON Bedieneinheit Funktionen > CAL > Einstellungen > CAL Aufford. > Kali- brieraufforderung oder Einstellungen > Einrichten > CAL Aufford. > Kalibrierauffor- derung LD-Protokoll Befehl 419 ASCII-Protokoll *CONFig:CALREQ (ON,OFF) Kalibrierwarnung Die Warnmeldung Wrn650 "Kalibrierung in den ersten 20 Minuten nicht empfohlen"...

  • Seite 49: Interne Kalibrierung Konfigurieren Und Starten

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 extern – Vakuumbetrieb: mit externem Prüfleck in Prüfanlage – Schnüffelbetrieb: mit externem Prüfleck – Berücksichtigung der Charakteristika der Prüfanlage (Druck, Teilstromverhältnis) – Verstärkertest – Autotune (Massenabgleich) – Bestimmung des Kalibrierfaktors, nachdem das Signal des Prüflecks eingeschwungen ist –...

  • Seite 50: Externe Kalibrierung Konfigurieren Und Starten

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON LD-Protokoll Befehl 12 ASCII-Protokoll Befehl *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF) ► Kalibrierung starten Bedieneinheit: Funktionen > CAL > intern LD-Protokoll: 4, Parameter 0 ASCII-Protokoll: *CAL:INT IO1000: CAL intern, siehe "Einstellungen für das I/O-Modul IO1000 [} 88]" ð Kalibrierung wird automatisch durchgeführt.
  • Seite 51 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 oder Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. (für aktuelle Masse in gewählter Einheit) LD-Protokoll Befehl 392 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:CALleak:EXTSniff (für aktuelle Masse in ge- wählter Einheit) ► LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw.

  • Seite 52: Externe Dynamische Kalibrierung Starten

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Abb. 15: Externes Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschrei- bung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen [} 89]" 7.8.4 Externe dynamische Kalibrierung starten Um die speziellen Zeit- und Druckbedingungen einer Prüfanlage zu berücksichtigen, kann eine dynamische Kalibrierung durchgeführt werden.
  • Seite 53 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Messung starten. Warten bis zum Zeitpunkt, an dem das Leckratensignal optimal zum normalen Messablauf der Anlage passt. Kalibrierung starten: Bedieneinheit: Funktionen > CAL > dynamisch LD-Protokoll: 4, Parameter 2 ASCII-Protokoll: *CAL:DYN IO1000 siehe folgende Abbildung.

  • Seite 54: Externe Kalibrierung Mit Der Schnüffelleitung Sl3000Xl

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Abb. 16: Abb. 7 Externes dynamisches Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen [} 89]" 7.8.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL Die Vorgehensweise entspricht der einer externen oder externen dynamischen Kali- brierung im Schnüffelbetrieb.

  • Seite 55: Kalibrierung Prüfen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 7.8.6 Kalibrierung prüfen Um zu prüfen, ob eine neue Kalibrierung nötig ist, können Sie die bestehende prüfen. 7.8.6.1 Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen Diese Prüfung ist nur mit der Einstellung "Masse 4" möglich. ► Prüfung starten: Bedieneinheit: Funktionen >...

  • Seite 56: Kalibrierfaktor Eingeben

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON IO1000 vergleiche Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten [} 50]". 7.8.7 Kalibrierfaktor eingeben Der Kalibrierfaktor wird normalerweise durch die entsprechende Kalibrierroutine be- stimmt. Daher ist es normalerweise nicht nötig, den Kalibrierfaktor manuell zu verstel- len.

  • Seite 57: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 LD-Protokoll Befehl 520 ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac 7.8.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer in- ternen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird (nach dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem Teil- stromverhältnis zu klein an.

  • Seite 58: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Schnüffelfaktor einstel- Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie- rung im Schnüffelbetrieb Wertebereich 1E-4...1E+4 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > - Schnüffelfak. > Masse 2 (3, 4) > Schnüffelfaktor H2 (M3, He)

  • Seite 59: Messung Starten Und Stoppen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED IO1000 siehe Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten [} 50]" ð Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor ist bestimmt. 7.9 Messung starten und stoppen Wechselt zwischen Messen- und Standby-Betrieb START = Standby --> Messen STOP = Messen --> Standby Bedieneinheit Funktionen >...

  • Seite 60: Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Parameter speichern: ► “Funktionen > Daten > Parameter > Speichern > Parameter speichern“ Parameter laden: ü Der aktuell eingestellte Kompatibilitätsmodus muss mit dem Kompatibilitätsmodus in der Parameterdatei übereinstimmen. Siehe auch Kompatibilitätsmodus wählen [} 43]. ► “Funktionen > Daten > Parameter > Laden > Parameter laden“...

  • Seite 61: Messergebnis-Darstellung Mit Signalfiltern

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 LD-Protokoll Befehl 409 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:ZEROSTART ZERO-Modus Legt den Grad des von ZERO unterdrückten Heliumuntergrundes fest (nur mit Filter einstellen “fest“ und “2 stufig“). alle Dekaden 1 – 2 Dekaden 2 – 3 Dekaden 2 Dekaden 3 –...

  • Seite 62: Gasballastventil Der Vorvakuumpumpe Steuern

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON 2-stufig Der Filter ist kompatibel zu LDS1000 und LDS2000. Die Mitte- lungszeit wird abhängig von der Filter-Umschaltleckrate umge- schaltet. I-Filter Optimierter Filter für den Schnüffelbetrieb. (Default bei XL Sniffer Adapter Set) I-Filter Flankenun- Wie I-Filter, aber mit zusätzlicher Flankenunterdrückung. Die ter.

  • Seite 63: Anzeigegrenzen Wählen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 LD-Protokoll Befehl 228 ASCII-Protokoll – 7.15 Anzeigegrenzen wählen Anzeigegrenzen Absenkung und Anhebung der Anzeigegrenzen: Falls sehr kleine Leckraten für Ihre Anwendung nicht von Interesse sind, kann eine Anhebung der unteren Anzeigegrenze die Beurteilung der Leckratenanzeige erleich- tern.

  • Seite 64: Kapillarüberwachung Einstellen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON 7.17 Kapillarüberwachung einstellen Druckwert Kapillare Um ein Verstopfen der 25/300-sccm-Kapillare zu detektieren, wird ein minimaler verstopft Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die Warnmel- dung 540 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 541 ausgegeben.

  • Seite 65: Kathode Auswählen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Für Geräte mit dem Modus AQ gilt: Ändern Sie die eingestellten 1000 Hz nicht. Drehzahl der Turbomolekularpumpe in Hertz 1000 1500 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellungen > TMP Drehzahl LD-Protokoll...
  • Seite 66 7 | Betrieb LDS3000 INFICON Funktion rechte Aktivieren bzw. Deaktivieren der rechten Taste der SL3000XL-Schnüffelleitung (Um- Schnüfflertaste schalten zwischen Low Flow und High Flow). Deaktivieren der Taste verhindert un- beabsichtigte Messbeeinflussung. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüff- ler >...
  • Seite 67 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüff- ler > Led > Schnüffler Led Alarmkonfig. LD-Protokoll Befehl 413 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:LIGHTAlarm Schnüffler-Summer: Verhalten des Summers am Schnüffler bei Triggerwert-Überschreitung. Alarmkonfiguration keine Reaktion Trigger...

  • Seite 68: Einstellungen Zurücksetzen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Kapilla- re > Verstopft XL > Druck Kapillare verstopft XL LD-Protokoll Befehl 455 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:PRESSXLLow Druckwert XL-Kapillare Um eine Unterbrechung der XL-Kapillare (High Flow, 3000 sccm) zu detektieren, gebrochen (High Flow) wird ein maximaler Druckwert eingestellt.
  • Seite 69 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Parameter Be- rechtigung LD-Protokoll Befehl 1161 ASCII-Protokoll Befehl *RST:FACTORY Befehl *RST:SL3000 Für Geräte mit dem Modus AQ gilt: Durch Laden des Modus AQ werden die Werk- seinstellungen für den Modus AQ erneut geladen, siehe auch Kompatibilitätsmodus wählen [} 43].

  • Seite 70: Betrieb Lds3000 Aq (Akkumulation)

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON 8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) 8.1 Gerät einschalten Vorvakuumpumpe einschalten. Spannungsversorgung zum Massenspektrometer-Modul herstellen. ð System läuft automatisch hoch. ð Falls ein XL Sniffer Adapter und die CU1000 angeschlossen sind, werden Sie nach dem Hochlaufen gefragt, ob die Betriebsart “XL Sniffer Adapter“ eingestellt werden soll.

  • Seite 71: Einheit Für Die Leckrate Wählen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Bedieneinheit Einstellungen > Datum/Uhrzeit > Datum LD-Protokoll Befehl 450 ASCII-Protokoll *HOUR:DATE Uhrzeit einstellen Format: hh:mm Bedieneinheit Einstellungen > Datum/Uhrzeit > Uhrzeit LD-Protokoll Befehl 450 ASCII-Protokoll *HOUR:TIME 8.3 Einheit für die Leckrate wählen Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit in der Anzeige für Vakuum bzw.

  • Seite 72: Einheit Für Den Druck Wählen

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON sccm (nur AQ) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Einheiten (Schnitt- stelle) > Leckrateneinheit VAC (SNIF) LD-Protokoll Befehl 431 (Vakuum) Befehl 432 (Schnüffeln) ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:UNIT:LRVac Befehl *CONFig:UNIT:LRSnif 8.4 Einheit für den Druck wählen Druckeinheit Wählen der Druckeinheit der Schnittstellen...
  • Seite 73 INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Modus XL Sniffer Adapter Modus AQ (Nur bei Geräten für AQ steht dieser Modus zur Verfügung. Er ist bei Ge- räten für AQ voreingestellt. Ein Umschalten auf andere Modi ist möglich.) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Kompatibilität > Kompatibilitäts-...
  • Seite 74 8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON LDS2010 LDS3000 LDS1000-Kompatibilitätsmodus 9.2 sonstige Funktionen Defaultwerte und Fehlermeldungen (Defaultwerte werden über die Schnittstelle ausgegeben, auf dem Touchscreen erscheint die Original- meldung- -> Grund: neue Hardware kann Fehler erzeugen, die bei den Vorgängern nicht existierten)

  • Seite 75: Basiseinstellungen Über Assistent Vornehmen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 8.6 Basiseinstellungen über Assistent vornehmen Wir empfehlen die Nutzung des AQ-Assistenten für wichtige Einstellungen und zum Kalibrieren. Die folgenden Angaben beziehen sich auf eine CU1000, die für die Nut- zung des LDS3000 AQ angepasst wurde.

  • Seite 76: Peak Bestimmen

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON 8.7 Peak bestimmen Um möglichst genaue Messergebnisse zu erreichen, sollten Sie vor einer Kalibrierung immer den aktuellen “Peak“ (Spitzenwert) bestimmen. Am Ende dieses Vorgangs wird der Wert für die alte Anodenspannung durch den Wert für die neue Anodenspannung ersetzt.

  • Seite 77: Gerät Kalibrieren

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Mindestgröße für die Leckrate des Prüflecks Um eine stabile Kalibrierung durchführen zu können, empfehlen wir eine Mindestgrö- ße für die Leckrate des verwendeten Prüflecks. Bei Beibehaltung der vom AQ-Assistenten vorgeschlagenen Messzeit sollte die Leck- rate folgenden Wert nicht unterschreiten: - Bei der Verwendung von Formiergas den gewählten Schwellenwert (Trigger 1)
  • Seite 78 8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Vorverstärkertest aus- Beim Kalibrieren testet das Gerät den eingebauten Vorverstärker. Sie können den schalten Verstärkertest abschalten. Dadurch wird die Kalibrierung schneller, aber die Zuver- lässigkeit sinkt. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Vorverstärker >...

  • Seite 79: Kalibrierfaktor Eingeben

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Sehen Sie dazu auch 2 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen [} 82] 8.9.2 Kalibrierfaktor eingeben Der Kalibrierfaktor wird normalerweise durch die entsprechende Kalibrierroutine be- stimmt. Daher ist es normalerweise nicht nötig, den Kalibrierfaktor manuell zu verstel- len.
  • Seite 80 8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON ð Die Leckrate des Prüflecks wird angezeigt und die Frage, ob die Kalibrierung gestartet werden soll. Zum Start des Kalibriervorgang bestätigen Sie über “OK“. Folgen Sie den Anweisungen auf dem Bildschirm. LD- oder ASCII-Protokoll, IO1000 Legen Sie das offene Prüfleck in die Messkammer und schließen Sie die Mess-...
  • Seite 81 INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 ð Im Fehlerfall: LD-Protokoll: Befehl 260 Zustand 51...59 (Fehlerzustände) ASCII-Protokoll: *STATus:CAL? auf “FAIL“ IO1000: Ausgang “Fehler oder Warnung“ Abb. 17: Externes Kalibrieren mit IO1000 bei einem Gerät für den Modus AQ. Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge siehe “Ein- und Ausgänge belegen [} 89]“...

  • Seite 82: Zero Ausführen

    INFICON 8.10 ZERO ausführen Nach dem Hochlaufen des LDS3000 AQ und der Wahl von Formiergas als Gasart sorgt der vorhandene Wasserstoff im Vakuumsystem zunächst dafür, dass auf dem Display eine steigende Kurve sichtbar wird. Diese Anzeige kann als Anzeige einer Un- dichtigkeit missverstanden werden.
  • Seite 83 INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 ð Das Gerät zeigt die tatsächliche Leckrate an. Maschinenfaktor ein- stellen Geräte im Modus AQ: Der Maschinenfaktor “1“ ist voreingestellt. Diese Einstellung soll nicht geändert wer- den. Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie- rung im Vakuumbetrieb.

  • Seite 84: Messung Durchführen

    8.12 Messung durchführen WARNUNG Gefahr durch implodierende Messkammer Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein gefährlicher Unterdruck erzeugt. Falls die Messkammer dicht ist, nicht vakuumfest ist und weiter abgepumpt wird, kann sie implodieren.

  • Seite 85: Parameter Speichern Und Laden

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 8.13 Parameter speichern und laden Um die Parameter der Bedieneinheit und des Massenspektrometer-Moduls zu sichern und wieder herzustellen, kann ein USB-Stick an der CU1000 verwendet werden. Parameter speichern: ► “Funktionen > Daten > Parameter > Speichern > Parameter speichern“...

  • Seite 86: Drehzahl Der Turbomolekularpumpe Einstellen

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Wenn durch eine ungeeignete Einstellung der nutzbare Bereich geringer als eine De- kade ausfällt, wird die obere Grenze soweit verschoben, bis eine Dekade sichtbar bleibt. Hinweis: In der Bedieneinheit werden beim Einstellen zwischen den beiden Einstell- parametern die aktuellen Anzeigegrenzen angezeigt.

  • Seite 87: Einstellungen Zurücksetzen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 CAT2 Auto Cat1 (automatisches Umschalten auf Kathode 2, Werkseinstellung) Auto Cat2 (automatisches Umschalten auf Kathode 1) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Ionenquelle > Kathoden- auswahl LD-Protokoll ASCII-Protokoll *CONFig:CAThode *STATus:CAThode 8.19 Einstellungen zurücksetzen Massenspektrometer- Die Einstellungen des Massenspektrometermoduls können auf die Werkseinstellun-...

  • Seite 88: Erweiterungsmodul Nutzen (Lds3000, Lds3000 Aq)

    9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON 9 Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) 9.1 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen Erweiterungsmodul Typ des am I/O-Anschluss angeschlossenen Moduls auswählen auswählen I/O-Modul Busmodul Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Geräteauswahl > Mo-...

  • Seite 89: Ein- Und Ausgänge Belegen

    INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 9.2.2 Ein- und Ausgänge belegen Analoge Ausgänge des Die analogen Ausgänge des I/O-Moduls IO1000 können mit unterschiedlichen Mess- I/O-Moduls belegen wertdarstellungen belegt werden. Mögliche Funktionen: siehe folgende Tabelle Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Analog- Ausg.
  • Seite 90 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Leckrate linear x ... 10 V; linear; in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) wird über den Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ eingestellt. Der untere Wert ist immer 0 (Leckrate), was 0 V Ausgangsspannung entspricht. Der Exponent des oberen Grenzwerts kann in ganzen Dekaden eingestellt werden, z.B.
  • Seite 91 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Leckrate log. x ... 10 V; logarithmisch; in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ und „Skalierung bei Leckrate“ eingestellt. Beispiel: Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10 mbar l/s (= 10 V).
  • Seite 92 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Abb. 18: Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 1 V/Dekade Abb. 19: Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 5 V/Dekade Ausgangsspannungen Bei einem Fehler liegen folgende Spannungen an den analogen Ausgängen: im Fehlerfall Kompatibilitätsmodus Spannung LDS1000 LDS2010 10 V LDS3000...
  • Seite 93 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Konfiguration Für die Übertragung der Einstellungen von LDS2010 nach LDS3000 kann die folgen- (LDS2010-kompatibel) de Tabelle genutzt werden. LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü-...
  • Seite 94 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Druck p2 log. in Pa p2 1 V/ unrelevant unrelevant Dek. 1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar Druck p1 log.
  • Seite 95 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate Spezial 1 1E-5 mbar l/s log. 0 ... 10 V, 3 V/Dekade, 0 V = 1E-9 mbar l/s Leckrate log.

  • Seite 96: Digitale Eingänge Des I/O-Moduls Belegen

    9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate 1 V/Dek. 1E2 mbar l/s log. 0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-8 mbar l/s Leckrate lin. in mbar l/s...
  • Seite 97 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Jede Funktion kann invertiert werden. Mögliche Funktionen: siehe folgende Tabelle Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Digital- Eing. > Konfiguration dig. Eingang LD-Protokoll Befehl 438 ASCII-Protokoll *CONFig:PLCINLINK:1 (2 ... 10) Schlüsselschalter...
  • Seite 98 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Funktion Flanke/ Beschreibung Zustand: Auswahl dyn/ inaktiv → aktiv: Externer Kalibriermodus bei Aktivierung des Digital-Eingangs „CAL“: norm aktiv → inaktiv: Externe dynamische Kalibrierung (ohne Autotune, unter Berücksichtigung der über die digitalen Eingänge vorgegebenen Mess- und Pumpzyklen- zeiten) Externe normale Kalibrierung (mit Autotune, ohne Berücksichtigung der...

  • Seite 99: Digitale Ausgänge Des I/O-Moduls Belegen

    INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Funktion Flanke/ Beschreibung Zustand: Fluss inaktiv → aktiv: Fluss der SL3000XL auf 3000 sccm schalten (XL-Adapter) aktiv → inaktiv: Fluss der SL3000XL auf 300 sccm schalten (XL-Adapter) CAL Maschine inaktiv → aktiv: Bestimmung des Maschinenfaktors oder des Schnüffelfaktors...
  • Seite 100 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Funktion Zustand: Beschreibung Bereit geschlossen: Emission eingeschaltet, Kalibriervorgang inaktiv, kein Fehler geöffnet: Emission ausgeschaltet oder Kalibriervorgang aktiv oder Fehler Warnung geschlossen: Warnung geöffnet: keine Warnung Fehler geschlossen: Fehler geöffnet: kein Fehler CAL aktiv geschlossen: Gerät wird kalibriert.

  • Seite 101: Einstellungen Für Das Busmodul Bm1000

    INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Funktion Zustand: Beschreibung Gasballast geschlossen: Gasballast ist aktiv geöffnet: Gasballast ist nicht aktiv Prüfleck of- geschlossen: Prüfleck ist aktiv geöffnet: Prüfleck ist nicht aktiv CAL stabil geschlossen: Kalibrierung mit Prüfleck abgeschlossen (siehe "Zeitpunkt und generelle Vor- einstellungen [} 47]")

  • Seite 102: Warn- Und Fehlermeldungen (Lds3000, Lds3000 Aq)

    10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON 10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) Das Gerät ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Fehlermeldungen Fehler sind Ereignisse, die das Gerät nicht selbst beheben kann und die eine Unter- brechung des Betriebs erzwingen. Die Fehlermeldung besteht aus einer Nummer und einem beschreibenden Text.
  • Seite 103 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn123 Konfiguration INFICON Die gewählte Konfiguration INFI- vom BM1000 nicht unter- CON wird vom angeschlossenen stützt...
  • Seite 104 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn205 Spannung 24V_PWR56 Kurzschluss am Ventil 5 (Schnüf- außerhalb des Bereichs feln) oder Ventil 6...
  • Seite 105 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn301 Anodenspannung zu hoch 7V > des MSB defekt Sollwerts Wrn302 Suppressorspannung zu...
  • Seite 106 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Err340 Emissionsfehler <90% des Emission war vorher stabil, ver- Sollwerts mutlich hoher Druck, Meldung nach 15s >110% des...
  • Seite 107 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn390 500 G außerhalb des Be- 450 GΩ Vorverstärker defekt, Fehler am reichs Supressor, IF-Board oder MSB 550 GΩ...
  • Seite 108 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Wrn500 Drucksensor nicht ange- 0,5V Drucksensor PSG500 P1 nicht an- schlossen geschlossen, IF-Board oder MSB defekt Wrn502 Drucksensor 2 nicht ange- Drucksensor PSG500 P2 nicht an- schlossen geschlossen, IF-Board oder MSB defekt.
  • Seite 109 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Wrn602 KalFaktor niedriger als bei < 50% des Kalibrierleck, Maschinenfaktor letzter Kalibrierung alten Werts oder Teilstromfaktor hat sich ge- ändert Wrn603 KalFaktor größer als bei > 200% Kalibrierleck, Maschinenfaktor letzter Kalibrierung...

  • Seite 110: Darstellung Der Fehlercodes Mit Hilfe Der Status-Leds

    10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Wrn671 Peak nicht gefunden Während der Peaksuche war das Signal zu unruhig. Die Kalibrie- rung wurde abgebrochen. Wrn680 Abweichung zur Kalibrie- Die Überprüfung der Kalibrierung rung festgestellt hat gezeigt, dass Sie neu kalibrie- ren sollten.
  • Seite 111 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Der Blinkcode wird zyklisch wiederholt. Beispiel: Der Druck ist zu hoch. -> Fehlercode = Warnung 520 -> Blinkcode der Status-LED: Weiß (lang), 5·Orange, Blau, 2·Orange, Blau LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803) 111 / 141...

  • Seite 112: Betrieb Cu1000 (Optional)

    11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON 11 Betrieb CU1000 (optional) 11.1 Elemente des Touchscreens 11.1.1 Elemente der Messanzeige Abb. 20: Messanzeige Tastatursperre Kommunikationsstatus Datenaufzeichnung Bediener Zero Meldung Prüfgas Betriebsart Leckrate mit Peak-Hold-Funktion 10 Grafische Darstellung der Leckrate 11 Zeitachse 12 Vorvakuumdruck und der Peak-Hold-Funktion 13 Taste "Favorit 2"...
  • Seite 113 INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 1 - Tastatursperre Die Bedieneinheit wird durch längeres Drück vom Symbol für die Tastatursperre ge- sperrt oder freigeschaltet. 2 - Symbol für die Kommunikationsstatus • Symbol verbunden: Das Gerät kommuniziert mit dem Massenspektrometer-Modul. • Symbol getrennt: Das Gerät kommuniziert nicht mit dem Massenspektrometer-Mo- dul.
  • Seite 114 11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON Anzeige Bedeutung Wasserstoff z.B. H-D, He oder H 8 - Betriebsart Eingestellte Betriebsart Anzeige Betriebsart Vakuum SNIF Schnüffeln LOW FLOW XL Sniffer Adapter im LOW FLOW HIGH FLOW XL Sniffer Adapter im HIGH FLOW...

  • Seite 115: Elemente Der Fehler- Und Warnungsanzeige

    INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 Eine vollständige Darstellung des Menüs ist auf dem mit der LDS3000 mitgelieferten USB-Stick enthalten. 16 - Wertachse Wertachse der Leckrate Q(t). 17 - Maßeinheit Maßeinheit der Wertachse. 11.2 Elemente der Fehler- und Warnungsanzeige WARNUNG...

  • Seite 116: Touchscreen-Einstellungen

    11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON 11.3.1 Touchscreen-Einstellungen Der Touchscreen zeigt die Parameter grau an, wenn • der Benutzer die Werte nicht ändern darf, • die ältere Version der Software des Massenspektrometer-Moduls LDS3000 diesen Parameter nicht unterstützt. Skalierung der Q(t)-...
  • Seite 117 INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 Bedieneinheit Anzeige > Einheiten (Anzeige) > Druckeinheit Messwert-Darstellung Art der grafischen Anzeige Diagramm Balkenanzeige Bedieneinheit Anzeige > Messanzeige > Art der Messwertanzeige Numerische Darstellung der Messwerte Bedieneinheit Anzeige > Messanzeige > Wertanzeige Anzeige-Helligkeit Anzeige-Helligkeit 20 ...
  • Seite 118 11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON Anzeige der Meldun- Warnungen und Fehlermeldungen können auf dem Touchscreen angezeigt werden. gen auf dem Touchs- creen Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Bedieneinheit > Meldungen > Warnungen anzeigen Kalibrierhinweis anzei- Kalibrierhinweis mit folgendem Inhalt unterdrücken oder zulassen: •...

  • Seite 119: Bedienertypen Und Berechtigungen

    INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 Trigger: Bei Überschreiten der gewählten Triggerschwelle wird ein Zweitonsignal ausgegeben. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Bedieneinheit > Audio > Au- dioalarm Typ Verhalten bei Warnungen oder Fehlermeldungen: Wenn der Touchscreen eine War- nung oder einen Fehler anzeigt, wird immer gleichzeitig ein Zweitonsignal ausgege- ben.
  • Seite 120 ändern Werkseinstel- lungen aufrufen Wartungsver- lauf eintragen Das Menü “Service“ ist nur für den INFICON-Service zugänglich. Parameter laden Die gespeicherten/gesicherten Parameter der Bedieneinheit CU1000 und des Mas- senspektrometer-Moduls können von einem USB-Stick geladen werden. Bedieneinheit Funktion > Daten > Parameter > Laden...

  • Seite 121: Bediener Abmelden

    INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 Bedieneinheit Funktionen > Daten > Parameter > Par. Berech. 11.3.2.1 Bediener abmelden Zum Abmelden aktiviert der Bediener die Berechtigungsstufe “Viewer“. “Berechtigung > Viewer“ 11.3.3 Funktionen 11.3.3.1 Einstellungen zurücksetzen Massenspektrometer- Die Einstellungen des Massenspektrometermoduls können auf die Werkseinstellun- Modul gen zurückgesetzt werden.

  • Seite 122: Informationen Aufrufen

    11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON Ein-/Ausschalten Datenaufzeichnung ein- oder ausschalten • Aus • An Bedieneinheit Funktionen > Daten > Rekorder > Einstel- lungen > Datenaufzeichnung Speicherintervall Zeitabstand zwischen der Aufzeichnung von Daten • 100 ms, 200 ms, 500 ms, 1 s, 2 s, 5 s Bedieneinheit Funktionen >...
  • Seite 123 INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 Temperatur • Electronic • TMP Energie und Betriebs- • Energy values: Informationen zu Verbrauchswerten stunden • Operation hours: Anzeige zu Betriebsstunden • Supply voltages: Informationen zu den internen Versorgungsspannungen • Power supply: Informationen zu den Spannungsversorgungen der Bauteile Verlauf •...
  • Seite 124 11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON Abb. 21: I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen Zustand der Eingangssignale Konfigurierte Funktion (INV = Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder in- aktiv) • I/O module (3): Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen...
  • Seite 125 INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 Abb. 22: Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen Konfigurierte Funktion (INV = Zustand der Ausgangssignale Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder in- aktiv) • Bus module (1): Informationen zum Bus-Modul • Bus module (2): Informationen zum Bus-Modul, Fortsetzung...

  • Seite 126: Software Aktualisieren

    11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON 11.3.4 Software aktualisieren Softwareaktualisierungen von INFICON werden mit Hilfe eines USB-Sticks einge- spielt. Die Update-Funktion des Geräts finden Sie unter „Funktionen > Daten > Upda- te“. Ein Update ist möglich, • wenn ein oder mehrere Updates auf dem USB-Stick vorhanden sind, aber höchs- tens ein Update je Typ (Bedieneinheit, MSB-Box, I/O-Modul), •...

  • Seite 127: Softwareversion Der Msb-Box Prüfen Und Aktualisieren

    INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 11.3.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren Die aktuelle Software ist beim Support von Inficon erhältlich. Die Funktionen des XL Sniffer Adapter Set sind in der System-Software ab Version 2.11 berücksichtigt. Kopieren Sie die Datei Flash_LDS3000_MSB_Vxx.xx.xxx.bin in das Hauptver- zeichnis eines USB-Sticks.
  • Seite 128 11 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON • IO1000 anschließen und einschalten. • Boot-Modus aktivieren (DIP S2.3 einmal ein- und ausschalten). • Wenn die STATUS LED grün blinkt OK drücken. Abb. 23: DIP-Schalter am I/O-Modul 128 / 141 LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)

  • Seite 129: Wartung

    Die Wartung des Massenspektrometer-Moduls beschränkt sich auf den Tausch des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe und die Überprüfung des Lüfters an der Turbomolekularpumpe. Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrags mit INFICON oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner. 12.1 Wartung bei INFICON WARNUNG Gefährdung der Gesundheit...

  • Seite 130: Wartungsplan

    12 | Wartung INFICON HINWEIS Sachschäden durch Verschmutzung Das Massenspektrometer-Modul ist ein Präzisionsmessgerät. Schon geringe Ver- schmutzungen können das Gerät beschädigen. ► Bei allen Wartungsarbeiten auf saubere Umgebung achten und sauberes Werkzeug benutzen. 12.3 Wartungsplan Wenn die Wartungsarbeiten des Wartungsplans nicht durchgeführt werden, verfällt die Gewährleistung für das Massenspektrometer-Modul.

  • Seite 131: Wartungsarbeiten

    INFICON Wartung | 12 12.4 Wartungsarbeiten 12.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen Die Turbomolekularpumpe ist zur Schmierung der Kugellager mit einem Betriebsmittel gefüllt. Ein Wechsel des Betriebsmittelspeichers muss spätestens alle 2 Jahre erfol- gen. Unter extremen Belastungen der Pumpe oder in unreinen Prozessen muss der Schmiermittelspeicher in kürzeren Zeitabständen gewechselt werden.
  • Seite 132 12 | Wartung INFICON Abb. 24: Turbomolekularpumpe SplitFlow 80 Verschlussdeckel Betriebsmittelspeicher O-Ring Belüftungsschraube 132 / 141 LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
  • Seite 133 INFICON Wartung | 12 Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen WARNUNG Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit giftigen Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein. ► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen. ► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
  • Seite 134 12 | Wartung INFICON Abb. 25: Betriebsmittelspeicher tauschen O-Ring Porex-Stäbe Betriebsmittelspeicher 134 / 141 LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
  • Seite 135 INFICON Wartung | 12 Porexstäbe tauschen HINWEIS Sachschäden durch Reinigungsflüssigkeiten Reinigungsflüssigkeiten können das Gerät beschädigen. ► Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden. ► Sauberes fusselfreies Tuch verwenden. Alte Porexstäbe (8 Stück) mit Pinzette herausziehen. Verunreinigungen an Turbomolekularpumpe und Verschlussdeckel mit saube- rem fusselfreien Tuch entfernen.

  • Seite 136: Außerbetriebnahme

    Warten, bis Turbomolekularpumpe nicht mehr läuft. 13.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zu INFICON gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollte von dieser Möglichkeit Gebrauch ge- macht werden.

  • Seite 137: Anhang

    INFICON Anhang | 14 14 Anhang 14.1 CE-Erklärung LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803) 137 / 141...

  • Seite 138: Einbauerklärung

    14 | Anhang INFICON 14.2 Einbauerklärung 138 / 141 LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)

  • Seite 139: Kontaminationserklärung

    INFICON Anhang | 14 14.3 Kontaminationserklärung LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803) 139 / 141...

Inhaltsverzeichnis