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INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung
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INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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Inhaltsverzeichnis

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Quicklinks

Original-Betriebsanleitung
LDS3000, LDS3000 AQ
Massenspektrometer-Modul
Katalognummern
560-300, 560-600
Ab Software-Version
MS-Modul 2.72
jiqa54de1-10-(1911)

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Verwandte Anleitungen für INFICON LDS3000

Inhaltszusammenfassung für INFICON LDS3000

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung LDS3000, LDS3000 AQ Massenspektrometer-Modul Katalognummern 560-300, 560-600 Ab Software-Version jiqa54de1-10-(1911) MS-Modul 2.72...
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.3 Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS wählen.................. 32 5.4 Komponentenverbindungen herstellen .................... 33 5.5 Elektrische Verbindungen herstellen ...................... 34 6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) ...................... 35 6.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen .............. 35 6.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren................ 36 6.3 Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen ................ 38 6.4 Elektrische Verbindungen herstellen ...................... 40...
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis INFICON 7 Betrieb LDS3000 ............................ 41 7.1 Gerät einschalten............................ 41 7.2 Voreinstellungen ............................. 42 7.3 Einheit für die Leckrate wählen....................... 43 7.4 Einheit für den Druck wählen........................ 44 7.5 Kompatibilitätsmodus wählen ......................... 44 7.6 Betriebsart wählen .......................... 46 7.7 Gasart wählen (Masse)........................... 47 7.8 Gerät kalibrieren ............................. 48 7.8.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen...................
  • Seite 5 9.2 Einstellungen für das I/O-Modul IO1000.................... 89 9.2.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen .................. 89 9.2.2 Ein- und Ausgänge belegen...................... 90 9.2.2.1 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen................ 98 9.2.2.2 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen.............. 100 9.3 Einstellungen für das Busmodul BM1000..................... 102 10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) ................ 103 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 6 11.3.4 Software aktualisieren.......................  127 11.3.4.1 Software der Bedieneinheit aktualisieren................. 127 11.3.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren.......... 127 11.3.4.3 Software des I/O-Moduls aktualisieren ................ 128 12 Wartung ................................ 130 12.1 Wartung bei INFICON........................... 130 12.2 Allgemeine Wartungshinweise...................... 130 12.3 Wartungsplan............................ 131 12.4 Wartungsarbeiten .......................... 132 12.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen ............ 132 13 Außerbetriebnahme............................ 137...

  • Seite 7: Über Diese Anleitung

    Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden Rechteinhaber sind. Die vorliegende Betriebsanleitung beschreibt Einbau und Bedienung des LDS3000 Massenspektrometer-Moduls. Es ist in zwei Varianten erhältlich: • LDS3000 • LDS3000 AQ (Akkumulation), umschaltbar auch auf alle anderen Betriebs-Modi. 1.1 Mitgeltende Dokumente Betriebsanleitung Bedieneinheit CU1000 jina54 Betriebsanleitung Bus-Modul...
  • Seite 8 1 | Über diese Anleitung INFICON HINWEIS Gefährliche Situation mit Sach- oder Umweltschäden als Folge 8 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

  • Seite 9: Begriffsdefinitionen

    Schnüffelhandgriff abgesaugt. Der Druck im Prüfobjekt ist größer als der Umgebungsdruck. FINE FINE bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für Einlassdrücke bis 0,4 mbar. Dieser wird auch für die Betriebsart “Schnüffeln“ verwendet. Formiergas Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff. LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 9 / 144...
  • Seite 10 Es gibt Helium, das während einer Messung als natürlicher Bestandteil der Umgebungsluft z. B. an der Oberfläche eines Prüfkörpers schwach gebunden ist und nach und nach in das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts gepumpt wird. Es erzeugt ein langsam fallendes Messsignal. 10 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 11 INFICON Über diese Anleitung | 1 Falls Sie dieses Untergrundsignal oder auch die Anzeige eines bestehenden Lecks ausblenden möchten, können Sie die Funktion ZERO einsetzen. LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 11 / 144...

  • Seite 12: Sicherheit

    Der LDS3000 ist für die Über- und die Unterdruckprüfung geeignet, wobei neben der Prüfung im Vakuum auch eine lokale Prüfung mit einer Schnüffelleitung möglich ist. Der LDS3000 AQ ist für die Messung von Prüfgasen bei deren Anreicherung in einer externen Messkammer vorgesehen, kann aber auch für alle anderen Verwendungszwecke umgebaut werden.

  • Seite 13: Personalqualifikation

    Sicherheits- und Warnhinweise. • Beachten Sie bei allen Arbeiten immer die vollständigen Bedienungsanweisungen. • Wenden Sie sich bitte bei Fragen zur Bedienung oder Wartung, die nicht in dieser Anleitung beantwortet werden, an den Kundendienst. LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 13 / 144...

  • Seite 14: Gefahren

    • Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein Bremsmoment von 820 Nm aufnehmen kann. Verletzungsgefahr Falls ein angeschlossenes Prüfobjekt oder Verbindungen zum Prüfobjekt dem durch berstende Unterdruck durch den Vakuumbetrieb nicht standhalten, besteht Verletzungsgefahr Gegenstände durch berstende Gegenstände. • Treffen Sie geeignete Schutzvorkehrungen. 14 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 15 INFICON Sicherheit | 2 Gefahr durch Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit implodierende ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein Messkammer gefährlicher Unterdruck erzeugt. Falls die Messkammer dicht ist, jedoch nicht vakuumfest ist, und weiter abgepumpt wird, kann sie implodieren.

  • Seite 16: Lieferumfang, Transport, Lagerung

    (nur bei Ausführung LDS3000 Betriebsanleitung USB-Stick mit Anleitungen, 3D-Zeichnungen und Videos 1.) Beinhaltet entweder 560-300 LDS3000 oder 560-600 LDS3000 AQ (Akkumulation). 2.) Siehe “Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen [} 38]“. ► Den Lieferumfang bitte nach Erhalt des Geräts auf Vollständigkeit prüfen.

  • Seite 17: Beschreibung

    Messkammer an. Dieser Anstieg wird gemessen und als Leckrate ausgegeben. Geräteschnittstellen Das Massenspektrometer-Modul ist ein Teil des Dichtheitsprüfsystems LDS3000 und LDS3000 AQ. Es kann zusammen mit einem BUS-Modul oder I/O-Modul und einem Datenkabel ohne zusätzliches INFICON-Zubehör in einer Prüfanlage betrieben werden.

  • Seite 18: Geräteaufbau

    4 | Beschreibung INFICON 4.2 Geräteaufbau 4.2.1 Gesamtgerät (LDS3000) Abb. 1: Massenspektrometer-Modul LDS3000 Anschlussblock. Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, Drucksensor PSG500, internes Prüfleck und Schnüffelleitung, siehe auch "Anschlussblock [} 23]". Drucksensor PSG500 zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit MSB-Box.

  • Seite 19: Gesamtgerät (Lds3000 Aq)

    Messkammer mit Lüfter. Nicht im Lieferumfang. ISO-KF DN16 (Einschraubflansch). Nicht im Lieferumfang. Sie können den Einschraubflansch über die Homepage von INFICON unter “Vakuumkomponenten“ beziehen. Einlassmodul Wellschlauch. Nicht im Lieferumfang. Sie können den Wellschlauch über die Homepage von INFICON unter “Vakuumkomponenten“ beziehen. Blindflansch Massenspektrometer-Modul Netzteil 24 V Trockene Vorpumpe mit separater Stromversorgung.
  • Seite 20 3 4 3 4 3 4 3 4 3 4 3 4 Abb. 3: Massenspektrometer-Modul (Ausführung Akkumulation) 1 Drucksensor PSG500 zur Messung des Einlassdrucks 2 GROSS-Drosselflansch mit Verbindungsschlauch zur Vorvakuumpumpe 3 Wellschlauch zur Messkammer 4 ULTRA-Anschlüsse blindgeflanscht 20 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 21 ZERO-Funktion sich nur auf der INFICON Bedieneinheit CU1000 befindet. Siehe auch “Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen [} 38]“. Optionales Zubehör Mit Ausnahme der Messkammer werden die benötigten Teile auch von INFICON von INFICON angeboten. • Bedieneinheit CU1000 (inkl. Assistent zur Vornahme wichtiger Einstellungen)
  • Seite 22 Homepage von INFICON unter “Vakuumkomponenten“. • ISO-K Zentrierringe und Dichtungen, zu beziehen über die Homepage von INFICON unter “Vakuumkomponenten“. • DIN-Schienennetzteil 24 V, 10 A von INFICON (Katalog-Nummer 560-324) für die trockene Vorpumpe von INFICON • Trockene Vorpumpe von INFICON (Katalog-Nummer 560-630) Anschluss für Schlauch ID 10 mm...

  • Seite 23: Anschlussblock

    4.2.4 MSB-Box Abb. 7: Anschlüsse MSB-Box OUTPUT Anschluss für Gasballast und drei Ventile Steckerbelegung Ventil 2 (Gasballast), 24 V, max. 1 A Ventil 3 (nicht verwendet, Reserve) Ventil 4 (nicht verwendet, Reserve) Ventil 6 (nicht verwendet, Reserve) LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 23 / 144...
  • Seite 24 Anschluss für 24-V-Netzteil zur Versorgung von Massenspektrometer-Modul, Bedieneinheit, I/O-Modul und Bus-Modul. 2 (siehe auch Abbildung MSB-Box) Anschluss für Wandler Turbomolekularpumpe und Lüfter Turbomolekularpumpe (vormontiertes, zweifaches Kabel) ION SOURCE Anschluss für Ionenquelle 3 (siehe auch Abbildung MSB-Box) Anschluss für Vorverstärker 24 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 25 Software wird aktualisiert Grün Grün, blinkt Software wird aktualisiert SERVICE RS232-Anschluss für INFICON-Service I/O / ANYBUS CONTROL UNIT Anschluss für I/O-Modul oder Bus-Modul oder Bedieneinheit Die Anschlüsse „I/O Anybus“ und „Control Unit“ haben die gleiche Funktionalität. Es können wahlweise angeschlossen werden: –...

  • Seite 26: Kennzeichnungen Am Gerät

    Messbare Gase Helium, Wasserstoff Kleinste nachweisbare Leckrate 5E-12 mbar l/s Vakuumbetrieb Kleinste nachweisbare Leckrate 1E-7 mbar l/s Schnüffelbetrieb Messbare Massen 4He, H2, Masse 3 (z. B. H-D, 3He oder Ionenquelle 2 longlife Iridium Filamente, Yttriumoxid beschichtet 26 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

  • Seite 27: Umgebungsbedingungen

    Druck Kapillarüberwachung gebrochen 2 mbar – mit XL Sniffer Adapter (Low Flow) 0,6 mbar Druck Kapillarüberwachung verstopft – mit XL Sniffer Adapter (High Flow) 150 mbar Druck Kapillarüberwachung gebrochen – mit XL Sniffer Adapter (High Flow) 400 mbar LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 27 / 144...
  • Seite 28 ASCII Kalibrieraufforderung Kalibrierfaktor VAC/SNIF Mx (für Vakuum, Schnüffeln und alle Massen) Kathodenauswahl Auto Cat1 Kompatibilitätsmodus LDS3000 Konfig. Analog-Ausgang 1 Leckrate Mantisse Konfig. Analog-Ausgang 2 Leckrate Exponent Konfig. Analog-Ausgang Skalierung 0,5 V / Dekade Konfiguration digitale Ausgänge Pin 1: Trigger 1, invertiert...
  • Seite 29 TMP-Drehzahl 1500 1000 Triggerlevel 1 (2, 3, 4) 1 x 10 mbar l/s 5 x 10 (1 x 10 ) mbar l/s Vorverstärkertest bei CAL Wartungsmeldung ZERO bei Start ZERO-Modus Alles unterdrücken 1) im Modus AQ LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 29 / 144...

  • Seite 30: Montage Lds3000

    5 | Montage LDS3000 INFICON 5 Montage LDS3000 5.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen Standort wählen Wählen Sie für den Messaufbau eine möglichst heliumfreie Umgebung. Für verlässliche Messungen mit dem Gerät muss der Heliumgehalt in der Luft kleiner als 10 ppm sein.

  • Seite 31: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren

    INFICON Montage LDS3000 | 5 5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren Das Massenspektrometer-Modul kann in allen Lagen montiert werden. Abb. 9: Komponenten eines Befestigungselements Innensechskantschraube M8 x 50 Mutter M8 (selbstsichernd) Unterlegscheibe Grundrahmen MO-Lager Federgummi Prüfanlage Führung MSB-Box Sie benötigen: - Selbstsichernde Muttern M8 - Maulschlüssel SW13...

  • Seite 32: Anschluss Ultra, Fine Oder Gross Wählen

    Die folgenden Angaben gelten für den Einsatz von Helium als Prüfgas. Um die KnL zu erreichen, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein: • Der LDS3000 muss mindestens 20 Minuten in Betrieb sein. • Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/ Stoße, saubere Umgebung)

  • Seite 33: Komponentenverbindungen Herstellen

    INFICON Montage LDS3000 | 5 • Der Prüfling muss so lange bei ausgeschaltetem ZERO betrieben werden, bis der Untergrund stabil ist. Erst danach darf die ZERO-Funktion eingeschaltet werden. Anschluss Drehzahl Turbomolekularpumpe 1000 Hz 1500 Hz ULTRA KnL: 5 x 10...

  • Seite 34: Elektrische Verbindungen Herstellen

    5 | Montage LDS3000 INFICON Falls vorhanden, das interne Prüfleck 560-323 an zweiten freien Flansch (FINE bzw. ULTRA) des Vakuumanschlusses anschließen. Falls ein Schnüffelventil verwendet wird: Damit das Gerät beim Öffnen des Schnüffelventils fehlerfrei arbeitet, darf zwischen Anschlussblock und Schnüffelventil sowie Schnüffelventil und Schnüffelleitung keine weitere Leitung angeschlossen sein.

  • Seite 35: Montage Lds3000 Aq (Akkumulation)

    INFICON Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6 6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) 6.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen Standort wählen Wählen Sie für den Messaufbau eine möglichst heliumfreie Umgebung. Für verlässliche Messungen mit dem Gerät muss der Heliumgehalt in der Luft kleiner als 10 ppm sein.

  • Seite 36: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren

    6 | Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON 6.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren Das Massenspektrometer-Modul kann in allen Lagen montiert werden. Abb. 11: Komponenten eines Befestigungselements Innensechskantschraube M8 x 50 Mutter M8 (selbstsichernd) Unterlegscheibe Grundrahmen MO-Lager Federgummi Prüfanlage Führung MSB-Box Sie benötigen: - Selbstsichernde Muttern M8 - Maulschlüssel SW13...
  • Seite 37 INFICON Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6 Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und Transportmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des Massenspektrometer-Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden – nicht die Transportmuttern. Der Untergrund muss stabil sein. WARNUNG...

  • Seite 38: Komponenten Auswählen Und Verbindungen Herstellen

    Messkammer mit Lüfter. Nicht im Lieferumfang. ISO-KF DN16 (Einschraubflansch). Sie können den Einschraubflansch über die Homepage von INFICON unter “Vakuumkomponenten“ beziehen. Einlassmodul Wellschlauch. Nicht im Lieferumfang. Sie können den Wellschlauch über die Homepage von INFICON unter “Vakuumkomponenten“ beziehen. Blindflansch Massenspektrometer-Modul Netzteil 24 V Trockene Vorpumpe mit separater Stromversorgung.
  • Seite 39 INFICON Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6 ü Sie verfügen über das Massenspektrometer-Modul (Akkumulation) von INFICON, einen Wellschlauch und die abgebildeten Verbindungen. ü Sie verfügen über eine trockene Vorvakuumpumpe mit eigener Stromversorgung. Sie können alle trockenen Vakuumpumpen mit einem Gasdurchfluss von mehr als 60 sccm bei einem Basisdruck von unter 5 mbar verwenden.

  • Seite 40: Elektrische Verbindungen Herstellen

    6 | Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Die Abluftöffnung der Vorpumpe sollte möglichst weit entfernt von der Testkammer liegen. Sehen Sie dazu auch 2 Gesamtgerät (LDS3000 AQ) [} 19] 6.4 Elektrische Verbindungen herstellen Die elektrischen Verbindungen laufen alle von und zur MSB-Box.

  • Seite 41: Betrieb Lds3000

    SL3000XL können zudem Leckstellen bei verschlechterter Nachweisgrenze in einem größeren Abstand von der vermutlichen Leckstelle erfasst werden (Betrieb im „High Flow“). Auch LDS3000 AQ-Geräte können verwendet werden, falls sie nicht im Modus AQ betrieben werden. Weitergehende Informationen zur Bedieneinheit, den Modulen und dem XL Sniffer Adapter enthalten die Dokumente: •...

  • Seite 42: Voreinstellungen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON ð Falls ein XL Sniffer Adapter und die CU1000 angeschlossen sind, werden Sie nach dem Hochlaufen gefragt, ob die Betriebsart “XL Sniffer Adapter“ eingestellt werden soll. Dies gilt nicht für Geräte im Modus AQ. Längerer Hochlauf bei Geräten im Modus AQ Um Verfälschungen der Messergebnisse durch einen erhöhten Untergrundwert...

  • Seite 43: Einheit Für Die Leckrate Wählen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 7.3 Einheit für die Leckrate wählen Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit in der Anzeige für Vakuum bzw. Schnüffeln Anzeige mbar l/s (Werkseinstellung) Pa m3/s atm cc/s Torr l/s ppm (nicht VAC, nicht AQ) g/a (nicht VAC, nicht AQ)

  • Seite 44: Einheit Für Den Druck Wählen

    Werkseinstellung angezeigt. Zum Ändern der Sprache siehe “Voreinstellungen [} 42]“. Falls Sie den LDS3000 zum späteren Zeitpunkt wieder im Normalbetrieb nutzen wollen, speichern Sie vorher Ihre Parameter auf einem USB-Stick, siehe "Parameter speichern und laden [} 60]". Sie können die gesicherten Parameter wieder laden, nachdem Sie in den Normalbetrieb umgeschaltet haben.
  • Seite 45 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Die folgende Tabelle zeigt die funktionellen Unterschiede und Gemeinsamkeiten zwischen LDS2010 und LDS3000: LDS2010 LDS3000 Triggerausgänge ohne gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug sonstige Ausgänge mit gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug Trigger 1 (Schnüffel-LED, Ansteuerung Schnüffel-LED, PWM- Ansteuerung Schnüffel-LED,...

  • Seite 46: Betriebsart Wählen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON LDS2010 LDS3000 Drehzahl der nur 2 Drehzahlen über serielle Schnittstelle von Turbomolekularpumpe 750 Hz bis 1500 Hz einstellbar, über Gerätebedienung 1000 Hz und 1500 Hz Adresse RS485 ja, da BUS-fähig nein, da nicht Bus-fähig Schnüffeltaster ein/aus wählbar wählbar Defaultwert für Int. Prüfleck 1E-15 mbar l/s 9.9E2 mbar l/s...

  • Seite 47: Gasart Wählen (Masse)

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Beim LDS3000 AQ ist “AQ“ voreingestellt. ► Falls erforderlich, können Sie “AQ“ unter "Kompatibilitätsmodus" erneut einstellen. Betriebsart wählen VAC (Vakuum) SNIF (Schnüffeln) Betriebsart XL Sniffer Adapter Bedieneinheit Betriebsart Vakuumbetrieb oder Schnüffelbetrieb: Hauptmenü > Funktionen > VAC/SNIF Betriebsart XL Sniffer Adapter: Einstellungen >...

  • Seite 48: Gerät Kalibrieren

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON 7.8 Gerät kalibrieren 7.8.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen HINWEIS Falsche Kalibrierung durch zu niedrige Betriebstemperatur Wird das Gerät im kalten Zustand kalibriert, kann es falsche Messergebnisse liefern. ► Für eine optimale Genauigkeit sollte das Gerät mindestens 20 Minuten eingeschaltet gewesen sein.
  • Seite 49 INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Bedieneinheit Funktionen > CAL > Einstellungen > CAL Aufford. > Kalibrieraufforderung oder Einstellungen > Einrichten > CAL Aufford. > Kalibrieraufforderung LD-Protokoll Befehl 419 ASCII-Protokoll *CONFig:CALREQ (ON,OFF) Kalibrierwarnung Die Warnmeldung Wrn650 "Kalibrierung in den ersten 20 Minuten nicht empfohlen"...

  • Seite 50: Interne Kalibrierung Konfigurieren Und Starten

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON extern – Vakuumbetrieb: mit externem Prüfleck in Prüfanlage – Schnüffelbetrieb: mit externem Prüfleck – Berücksichtigung der Charakteristika der Prüfanlage (Druck, Teilstromverhältnis) – Verstärkertest – Autotune (Massenabgleich) – Bestimmung des Kalibrierfaktors, nachdem das Signal des Prüflecks eingeschwungen ist –...

  • Seite 51: Externe Kalibrierung Konfigurieren Und Starten

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 LD-Protokoll Befehl 12 ASCII-Protokoll Befehl *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF) ► Kalibrierung starten Bedieneinheit: Funktionen > CAL > intern LD-Protokoll: 4, Parameter 0 ASCII-Protokoll: *CAL:INT IO1000: CAL intern, siehe "Einstellungen für das I/O-Modul IO1000 [} 89]" ð Kalibrierung wird automatisch durchgeführt.
  • Seite 52 7 | Betrieb LDS3000 INFICON oder Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. (für aktuelle Masse in gewählter Einheit) LD-Protokoll Befehl 392 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:CALleak:EXTSniff (für aktuelle Masse in gewählter Einheit) ► LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw.

  • Seite 53: Externe Dynamische Kalibrierung Starten

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Abb. 14: Externes Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen [} 90]" 7.8.4 Externe dynamische Kalibrierung starten Um die speziellen Zeit- und Druckbedingungen einer Prüfanlage zu berücksichtigen, kann eine dynamische Kalibrierung durchgeführt werden.
  • Seite 54 7 | Betrieb LDS3000 INFICON Messung starten. Warten bis zum Zeitpunkt, an dem das Leckratensignal optimal zum normalen Messablauf der Anlage passt. Kalibrierung starten: Bedieneinheit: Funktionen > CAL > dynamisch LD-Protokoll: 4, Parameter 2 ASCII-Protokoll: *CAL:DYN IO1000 siehe folgende Abbildung.

  • Seite 55: Externe Kalibrierung Mit Der Schnüffelleitung Sl3000Xl

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Abb. 15: Abb. 7 Externes dynamisches Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen [} 90]" 7.8.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL Die Vorgehensweise entspricht der einer externen oder externen dynamischen Kalibrierung im Schnüffelbetrieb.

  • Seite 56: Kalibrierung Prüfen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON 7.8.6 Kalibrierung prüfen Um zu prüfen, ob eine neue Kalibrierung nötig ist, können Sie die bestehende prüfen. 7.8.6.1 Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen Diese Prüfung ist nur mit der Einstellung "Masse 4" möglich. ► Prüfung starten: Bedieneinheit: Funktionen >...

  • Seite 57: Kalibrierfaktor Eingeben

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 werden IO1000 vergleiche Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten [} 51]". 7.8.7 Kalibrierfaktor eingeben Der Kalibrierfaktor wird normalerweise durch die entsprechende Kalibrierroutine bestimmt. Daher ist es normalerweise nicht nötig, den Kalibrierfaktor manuell zu verstellen. Ein falsch eingestellter Kalibrierfaktor führt zwangsläufig zu einer falschen Leckratenanzeige! 7.8.7.1 Kalibrierfaktor Schnüffeln...

  • Seite 58: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON LD-Protokoll Befehl 520 ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac 7.8.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer internen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird (nach dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem Teilstromverhältnis zu klein an.

  • Seite 59: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Schnüffelfaktor Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen einstellen Kalibrierung im Schnüffelbetrieb Wertebereich 1E-4...1E+4 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > - Schnüffelfak. > Masse 2 (3, 4) > Schnüffelfaktor H2 (M3, He)

  • Seite 60: Messung Starten Und Stoppen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED IO1000 siehe Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten [} 51]" ð Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor ist bestimmt. 7.9 Messung starten und stoppen Wechselt zwischen Messen- und Standby-Betrieb START = Standby --> Messen STOP = Messen --> Standby Bedieneinheit Funktionen >...

  • Seite 61: Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Parameter speichern: ► “Funktionen > Daten > Parameter > Speichern > Parameter speichern“ Parameter laden: ü Der aktuell eingestellte Kompatibilitätsmodus muss mit dem Kompatibilitätsmodus in der Parameterdatei übereinstimmen. Siehe auch Kompatibilitätsmodus wählen [} 44]. ► “Funktionen > Daten > Parameter > Laden > Parameter laden“...

  • Seite 62: Messergebnis-Darstellung Mit Signalfiltern

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON LD-Protokoll Befehl 409 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:ZEROSTART ZERO-Modus Legt den Grad des von ZERO unterdrückten Heliumuntergrundes fest (nur mit Filter einstellen “fest“ und “2 stufig“). alle Dekaden 1 – 2 Dekaden 2 – 3 Dekaden 2 Dekaden 3 –...

  • Seite 63: Gasballastventil Der Vorvakuumpumpe Steuern

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 fest Die Leckraten werden mit einer festen Zeit von 0,2 Sekunden gemittelt. 2-stufig Der Filter ist kompatibel zu LDS1000 und LDS2000. Die Mittelungszeit wird abhängig von der Filter-Umschaltleckrate umgeschaltet. I-Filter Optimierter Filter für den Schnüffelbetrieb.

  • Seite 64: Anzeigegrenzen Wählen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON Bedieneinheit Funktionen > Ventile > Gasballast LD-Protokoll Befehl 228 ASCII-Protokoll – 7.15 Anzeigegrenzen wählen Anzeigegrenzen Absenkung und Anhebung der Anzeigegrenzen: Falls sehr kleine Leckraten für Ihre Anwendung nicht von Interesse sind, kann eine Anhebung der unteren Anzeigegrenze die Beurteilung der Leckratenanzeige erleichtern.

  • Seite 65: Kapillarüberwachung Einstellen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:TRIGger1 (2, 3, 4) 7.17 Kapillarüberwachung einstellen Druckwert Kapillare Um ein Verstopfen der 25/300-sccm-Kapillare zu detektieren, wird ein minimaler verstopft Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die Warnmeldung 540 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 541 ausgegeben.

  • Seite 66: Drehzahl Der Turbomolekularpumpe Einstellen

    7 | Betrieb LDS3000 INFICON 7.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen Drehzahl der In einigen Anwendungen kann es sinnvoll sein die Drehzahl der Turbomolekularpumpe Turbomolekularpumpe zu reduzieren, um die Empfindlichkeit des Geräts zu erhöhen. Dadurch verringert sich allerdings der maximal zulässige Einlassdruck am GROSS-, FINE- und ULTRA-Anschluss.

  • Seite 67: Einstellungen Für Den Xl Sniffer Adapter

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 7.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter Für den Betrieb mit dem XL Sniffer Adapter müssen Sie – die SL3000XL-Schnüffelleitung verwenden, – die Betriebsart "XL Sniffer Adapter" wählen, siehe "Betriebsart wählen [} 46]". Funktion rechte Aktivieren bzw. Deaktivieren der rechten Taste der SL3000XL-Schnüffelleitung Schnüfflertaste...
  • Seite 68 7 | Betrieb LDS3000 INFICON Schnüffler-LEDs: Verhalten der LEDs am Schnüffler, wenn Triggerwert 1 überschritten wird. Alarmkonfiguration keine Reaktion Blinken Die LEDs blinken Heller Die LEDs leuchten mit maximaler Helligkeit. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüffler > Led > Schnüffler Led Alarmkonfig.

  • Seite 69: Einstellungen Zurücksetzen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 7 Druckwert XL-Kapillare Um ein Verstopfen der XL-Kapillare (High Flow, 3000 sccm) zu detektieren, wird ein verstopft (High Flow) minimaler Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die Warnmeldung 550 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 551 ausgegeben.
  • Seite 70 7 | Betrieb LDS3000 INFICON Bedieneinheit Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Einstellungen Bedieneinheit Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Einstellungen Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Parameter Berechtigung LD-Protokoll Befehl 1161 ASCII-Protokoll Befehl *RST:FACTORY Befehl *RST:SL3000 Für Geräte mit dem Modus AQ gilt: Durch Laden des Modus AQ werden die...

  • Seite 71: Betrieb Lds3000 Aq (Akkumulation)

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) 8.1 Gerät einschalten Vorvakuumpumpe einschalten. Spannungsversorgung zum Massenspektrometer-Modul herstellen. ð System läuft automatisch hoch. ð Falls ein XL Sniffer Adapter und die CU1000 angeschlossen sind, werden Sie nach dem Hochlaufen gefragt, ob die Betriebsart “XL Sniffer Adapter“ eingestellt werden soll.

  • Seite 72: Einheit Für Die Leckrate Wählen

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Bedieneinheit Einstellungen > Datum/Uhrzeit > Uhrzeit LD-Protokoll Befehl 450 ASCII-Protokoll *HOUR:TIME 8.3 Einheit für die Leckrate wählen Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit in der Anzeige für Vakuum bzw. Schnüffeln Anzeige mbar l/s (Werkseinstellung) Pa m3/s...

  • Seite 73: Einheit Für Den Druck Wählen

    Werkseinstellung angezeigt. Zum Ändern der Sprache siehe “Voreinstellungen [} 71]“. Falls Sie den LDS3000 zum späteren Zeitpunkt wieder im Normalbetrieb nutzen wollen, speichern Sie vorher Ihre Parameter auf einem USB-Stick, siehe "Parameter speichern und laden [} 85]". Sie können die gesicherten Parameter wieder laden, nachdem Sie in den Normalbetrieb umgeschaltet haben.
  • Seite 74 8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:COMP Die folgende Tabelle zeigt die funktionellen Unterschiede und Gemeinsamkeiten zwischen LDS2010 und LDS3000: LDS2010 LDS3000 Triggerausgänge ohne gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug sonstige Ausgänge mit gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug Trigger 1 (Schnüffel-LED,...

  • Seite 75: Basiseinstellungen Über Assistent Vornehmen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 LDS2010 LDS3000 ZERO bei Start ab V1.02 wie LDS2010 Öffnen des Schnüffelventils in SNIF nach Start in SNIF nach Start Drehzahl der nur 2 Drehzahlen über serielle Schnittstelle von Turbomolekularpumpe 750 Hz bis 1500 Hz einstellbar, über Gerätebedienung 1000 Hz und...

  • Seite 76: Peak Bestimmen

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON AQ-Assistent Um den AQ-Assistenten aufzurufen, drücken Sie auf dem Display der CU1000 auf Hauptmenü > Funktionen > Assistent Alternativ drücken Sie unten im Display auf das Wort “Assistent“. Nehmen Sie Ihre Einträge in den Fenstern vor, die nacheinander aufgerufen werden.

  • Seite 77: Leckrate Von Prüflecks Hinterlegen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 ü Um Verfälschungen von Messergebnissen durch einen erhöhten Untergrundwert entgegenzuwirken, haben Sie mindestens 60 Minuten Aufwärmzeit gewartet. Hauptmenü > Funktionen > CAL > Peak. Bestätigen Sie mit “OK“. ð Es öffnet sich das Fenster “CAL peak“.

  • Seite 78: Gerät Kalibrieren

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Hauptmenü > Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. Tragen Sie das gewünschte Gas und die zugehörige Leckrate ein. (LD Protokoll: Befehl 390 ASCII-Protokoll: *CONFig:CALleak:EXTVac) 8.9 Gerät kalibrieren 8.9.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen...

  • Seite 79: Kalibrierfaktor Eingeben

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Bedieneinheit Funktionen > CAL > Einstellungen > CAL Aufford. > Kalibrieraufforderung oder Einstellungen > Einrichten > CAL Aufford. > Kalibrieraufforderung LD-Protokoll Befehl 419 ASCII-Protokoll *CONFig:CALREQ (ON,OFF) Kalibrierwarnung Die Warnmeldung Wrn650 "Kalibrierung in den ersten 20 Minuten nicht empfohlen"...

  • Seite 80: Kalibrieren

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > Kalibrierfak. > Masse 2 (3, 4) > Kalibrierfaktor VAC H2 (M3, He) LD-Protokoll Befehl 520 ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac 8.9.4 Kalibrieren Beachten Sie auch die allgemeinen Hinweise zum Kalibrieren, siehe “Gerät kalibrieren [} 48]“.
  • Seite 81 INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Für eine Untergrundbestimmung bei Formiergas (Wasserstoff) fragen Sie anschließend den Verlauf ab: LD-Protokoll: Befehl 260 (State Calibration) ASCII-Protokoll: *STATus:CAL ð Warten Sie bis zum Erreichen folgenden Zustands: LD-Protokoll: Befehl 260 Zustand 75 “WAIT_ZERO_AQ“...

  • Seite 82: Zero Ausführen

    PLC-Ein- und Ausgänge siehe “Ein- und Ausgänge belegen [} 90]“ 8.10 ZERO ausführen Nach dem Hochlaufen des LDS3000 AQ und der Wahl von Formiergas als Gasart sorgt der vorhandene Wasserstoff im Vakuumsystem zunächst dafür, dass auf dem Display eine steigende Kurve sichtbar wird. Diese Anzeige kann als Anzeige einer Undichtigkeit missverstanden werden.

  • Seite 83: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 ü Als Masse ist Wasserstoff (Formiergas) eingetragen. Falls kein Wasserstoff (Formiergas) eingetragen ist, können Sie es unter “Hauptmenü > Einstellungen > Masse“ oder unten im Display des Messfensters über “Assistent“ einstellen. ü In der Messkammer ist weder ein Prüfkörper noch ein Prüfleck.

  • Seite 84: Messung Durchführen

    8.12 Messung durchführen WARNUNG Gefahr durch implodierende Messkammer Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein gefährlicher Unterdruck erzeugt. Falls die Messkammer dicht ist, nicht vakuumfest ist und weiter abgepumpt wird, kann sie implodieren.

  • Seite 85: Parameter Speichern Und Laden

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Falls Sie mit Formiergas messen, stellen Sie sicher, dass das Gerät mindestens eine halbe Stunde gelaufen ist. Diese Zeit wird benötigt, um stabile Messungen durchführen zu können. ð Falls Sie mit Helium messen, beträgt diese Wartezeit ca. 10 Minuten.

  • Seite 86: Zerozeit Faktor Aq" Anpassen

    8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON 8.15 “Zerozeit Faktor AQ“ anpassen Um beim Messen mit Formiergas scheinbar negative Leckraten zu vermeiden, wird nach einer bestimmten Zeit (Zerozeit Faktor AQ x Messzeit) die Leckratenanzeige auf 0 nachgeführt. Der Zerozeit Faktor AQ kann eingestellt werden unter: Hauptmenü...

  • Seite 87: Kathode Auswählen

    INFICON Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8 Für Geräte mit dem Modus AQ gilt: Ändern Sie die eingestellten 1000 Hz nicht. Drehzahl der Turbomolekularpumpe in Hertz 1000 1500 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellungen > TMP Drehzahl...
  • Seite 88 8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) INFICON Bedieneinheit Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Einstellungen Bedieneinheit Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Einstellungen Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen > Parameter Berechtigung LD-Protokoll Befehl 1161...

  • Seite 89: Erweiterungsmodul Nutzen (Lds3000, Lds3000 Aq)

    INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 9 Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) 9.1 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen Erweiterungsmodul Typ des am I/O-Anschluss angeschlossenen Moduls auswählen auswählen I/O-Modul Busmodul Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Geräteauswahl > Modul am I/O Anschluss oder Einstellungen >...

  • Seite 90: Ein- Und Ausgänge Belegen

    9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON 9.2.2 Ein- und Ausgänge belegen Analoge Ausgänge des Die analogen Ausgänge des I/O-Moduls IO1000 können mit unterschiedlichen I/O-Moduls belegen Messwertdarstellungen belegt werden. Mögliche Funktionen: siehe folgende Tabelle Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Analog- Ausg.
  • Seite 91 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Leckrate linear x ... 10 V; linear; in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) wird über den Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ eingestellt. Der untere Wert ist immer 0 (Leckrate), was 0 V Ausgangsspannung entspricht. Der Exponent des oberen Grenzwerts kann in ganzen Dekaden eingestellt werden, z.B.
  • Seite 92 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Leckrate log. x ... 10 V; logarithmisch; in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ und „Skalierung bei Leckrate“ eingestellt. Beispiel: Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10 mbar l/s (= 10 V).
  • Seite 93 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Abb. 17: Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 1 V/Dekade Abb. 18: Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 5 V/Dekade LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 93 / 144...
  • Seite 94 Bei einem Fehler liegen folgende Spannungen an den analogen Ausgängen: im Fehlerfall Kompatibilitätsmodus Spannung LDS1000 LDS2010 10 V LDS3000 10,237 V Konfiguration Für die Übertragung der Einstellungen von LDS2010 nach LDS3000 kann die (LDS2010-kompatibel) folgende Tabelle genutzt werden. LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung Obere Grenze Einstell.
  • Seite 95 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung Obere Grenze Einstell. Ausgang LDS3000 der Leckrate (10 V = ...) Menüpunkt Kanal Leckrate log. in Pa·m³/s Leckrate 1 V/Dek. 1E-2 mbar l/s log. 0 ... 10 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/s Druck p1 log. in Pa p1 1 V/...
  • Seite 96 9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung Obere Grenze Einstell. Ausgang LDS3000 der Leckrate (10 V = ...) Menüpunkt Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate 2 V/Dek. 1E-2 mbar l/s log. 0 ... 8 V, 2 V/Dekade, 0 V = 1E-7 mbar l/s Leckrate log. in mbar l/s...
  • Seite 97 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung Obere Grenze Einstell. Ausgang LDS3000 der Leckrate (10 V = ...) Menüpunkt Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate 1 V/Dek. 1E5 mbar l/s log. 0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-5 mbar l/s Leckrate lin. in mbar l/s...

  • Seite 98: Digitale Eingänge Des I/O-Moduls Belegen

    9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung Obere Grenze Einstell. Ausgang LDS3000 der Leckrate (10 V = ...) Menüpunkt Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate 1 V/Dek. 1E-1 mbar l/s log. 0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-11 mbar l/s Analogen Eingang – Für den analogen Eingang ist keine Funktion konfigurierbar.
  • Seite 99 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Funktion Flanke/ Beschreibung Zustand: CAL extern inaktiv → aktiv: Externe Kalibrierung starten. aktiv → inaktiv: Wert für den Untergrund übernehmen und Kalibrierung abschließen. CAL intern inaktiv → aktiv: Interne Kalibrierung starten. SNIF/VAC inaktiv →...

  • Seite 100: Digitale Ausgänge Des I/O-Moduls Belegen

    9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Funktion Flanke/ Beschreibung Zustand: inaktiv → aktiv: Das interne Prüfleck wird geöffnet. aktiv → inaktiv: Das interne Prüfleck wird geschlossen. TL Plus inaktiv → aktiv: Das interne Prüfleck öffnen bzw. schließen. XL Fluss inaktiv →...
  • Seite 101 INFICON Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Digital- Ausg. > Konfiguration dig. Ausgang LD-Protokoll Befehl 263 ASCII-Protokoll *CONFig:PLCOUTLINK:1 (2 ... 8) Funktionen, Belegung der digitalen Ausgänge: Funktion Zustand: Beschreibung Offen geöffnet:...

  • Seite 102: Einstellungen Für Das Busmodul Bm1000

    9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Funktion Zustand: Beschreibung Emission an geschlossen: Emission eingeschaltet geöffnet: Emission ausgeschaltet Messen geschlossen: Messen (ZERO ist möglich, alle Trigger-Ausgänge schalten abhängig von der Leckrate.) Standby oder Emission ausgeschaltet (ZERO ist nicht möglich, alle Trigger- geöffnet:...

  • Seite 103: Warn- Und Fehlermeldungen (Lds3000, Lds3000 Aq)

    INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) Das Gerät ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Fehlermeldungen Fehler sind Ereignisse, die das Gerät nicht selbst beheben kann und die eine Unterbrechung des Betriebs erzwingen. Die Fehlermeldung besteht aus einer Nummer und einem beschreibenden Text.
  • Seite 104 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibilit ätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn123 Konfiguration INFICON Die gewählte Konfiguration vom BM1000 nicht INFICON wird vom unterstützt angeschlossenen BM1000- Feldbustyp nicht unterstützt.
  • Seite 105 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibilit ätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn205 Spannung 24V_PWR56 Kurzschluss am Ventil 5 außerhalb des Bereichs (Schnüffeln) oder Ventil 6...
  • Seite 106 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibilit ätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn301 Anodenspannung zu hoch 7V > des MSB defekt Sollwerts Wrn302 Suppressorspannung zu...
  • Seite 107 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibilit ätsmodus LDS1000/ LDS2010 Err340 Emissionsfehler <90% des Emission war vorher stabil, Sollwerts vermutlich hoher Druck, Meldung nach 15s >110% des...
  • Seite 108 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibilit ätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn390 500 G außerhalb des 450 GΩ Vorverstärker defekt, Fehler am Bereichs Supressor, IF-Board oder MSB 550 GΩ...
  • Seite 109 INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Wrn500 Drucksensor nicht 0,5V Drucksensor PSG500 P1 nicht angeschlossen angeschlossen, IF-Board oder MSB defekt Wrn502 Drucksensor 2 nicht Drucksensor PSG500 P2 nicht angeschlossen angeschlossen, IF-Board oder MSB defekt. Wrn520 Druck zu hoch...
  • Seite 110 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Wrn601 Kalibrierfaktor zu hoch 10000 Kalibrierleck oder Maschinenfaktor falsch eingestellt, Teilstromfaktor zu groß Wrn602 KalFaktor niedriger als bei < 50% des Kalibrierleck, Maschinenfaktor letzter Kalibrierung alten Werts oder Teilstromfaktor hat sich geändert...

  • Seite 111: Darstellung Der Fehlercodes Mit Hilfe Der Status-Leds

    INFICON Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Wrn670 Fehler beim Kalibrieren Da beim Kalibrieren ein Problem aufgetreten ist, müssen Sie neu kalibrieren. Wrn671 Peak nicht gefunden Während der Peaksuche war das Signal zu unruhig. Die Kalibrierung wurde abgebrochen.
  • Seite 112 10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON • Trennung: blaues Signal • Einerstelle: 0 ... 9 rote Signale für Fehler bzw. 0 ... 9 orangene Signale für Warnungen Der Blinkcode wird zyklisch wiederholt. Beispiel: Der Druck ist zu hoch. -> Fehlercode = Warnung 520 -> Blinkcode der Status-LED: Weiß (lang), 5·Orange, Blau, 2·Orange, Blau...

  • Seite 113: Betrieb Cu1000 (Optional)

    Kommunikationsstatus Datenaufzeichnung Bediener Zero Meldung Prüfgas Betriebsart Leckrate mit Peak-Hold-Funktion 10 Grafische Darstellung der Leckrate 11 Zeitachse 12 Vorvakuumdruck und der Peak-Hold-Funktion 13 Taste "Favorit 2" 14 Taste "Favorit 1" 15 Menü 16 Wertachse 17 Wertachse LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 113 / 144...
  • Seite 114 6 - Symbol für Achtung Im Gerät sind aktive Warnmeldungen gespeichert. Die aktiven Warnmeldungen können über das Menü “Info > Verlauf > Aktive Warnungen“ angezeigt werden. 7 - Prüfgas Eingestelltes Prüfgas und die Prüfgaskonzentration in Prozent. Anzeige Bedeutung Helium ( 114 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 115 14 - Taste "Favorit 1" Auf dieser Taste können bevorzugte Parameter abgelegt werden, siehe auch “Touchscreen-Einstellungen [} 117]“. In der Abbildung in “Elemente der Messanzeige [} 113]“ ist die Taste “Favorit 1“ beispielhaft mit der Funktion “ZERO“ belegt. LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 115 / 144...

  • Seite 116: Elemente Der Fehler- Und Warnungsanzeige

    15 - Symbol für das Menü Alle Funktionen und Parameter der Bedieneinheit sind über die Taste “Menü“ zu erreichen. Eine vollständige Darstellung des Menüs ist auf dem mit der LDS3000 mitgelieferten USB-Stick enthalten. 16 - Wertachse Wertachse der Leckrate Q(t).

  • Seite 117: Einstellungen Und Funktionen

    Massenspektrometer-Moduls aufgeführt. 11.3.1 Touchscreen-Einstellungen Der Touchscreen zeigt die Parameter grau an, wenn • der Benutzer die Werte nicht ändern darf, • die ältere Version der Software des Massenspektrometer-Moduls LDS3000 diesen Parameter nicht unterstützt. Skalierung der Q(t)- Linear oder logarithmisch Achse Lin.
  • Seite 118 Favorit 1: Mittlere Taste (siehe die Abbildung in “Elemente der Messanzeige [} 113]“). Favorit 2: Rechte Taste Favorit 3: Taste rechts unten im Hauptmenü. Lautstärke ZERO (bei AQ statt ZERO: ZERO AQ) - - - (= ohne Funktion) 118 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 119 Einstellungen > Einrichten > Bedieneinheit > Meldungen > Warnungen anzeigen Audioalarm einstellen Lautstärke des Kopfhörers oder Aktivlautsprechers --- (kein Ton) Proportional: Die Frequenz des akustischen Signals ist proportional zur Balkenanzeige bzw. Diagrammhöhe. Der Frequenzbereich beträgt 300 Hz bis 3300 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 119 / 144...

  • Seite 120: Bedienertypen Und Berechtigungen

    Supervisor Integrator Viewer Operator Supervisor Viewer Operator Viewer Für die Typen “Integrator“, “Supervisor und “Operator“ muss bei der Anmeldung eine vierstellige PIN vergeben werden (0000 ... 9999). Ab Werk ist die “0000“ an alle Bediener vergeben. 120 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 121 ändern Werkseinstellu ngen aufrufen Wartungsverlau f eintragen Das Menü “Service“ ist nur für den INFICON-Service zugänglich. Parameter laden Die gespeicherten/gesicherten Parameter der Bedieneinheit CU1000 und des Massenspektrometer-Moduls können von einem USB-Stick geladen werden. Bedieneinheit Funktion > Daten > Parameter > Laden...

  • Seite 122: Bediener Abmelden

    Bedieneinheit 11.3.3.2 Daten aufzeichnen Die Daten werden als TXT-Datei gespeichert. In jeder TXT-Datei sind folgende Informationen enthalten: • Erstelldatum • Softwareversion • Seriennummer • Startzeit • Zeitstempel (Messung gibt den Offset in Sekunden zur Startzeit an) 122 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 123 Die Daten können in der Bedieneinheit oder auf einem USB-Stick gespeichert werden. Der Speicherplatz in der Bedieneinheit ist beschränkt auf die Aufzeichnung einer 24stündigen Messung. • USB-Stick • Bedieneinheit Bedieneinheit Funktionen > Daten > Rekorder > Löschen > Dateien löschen LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 123 / 144...

  • Seite 124: Informationen Aufrufen

    • Ion source: Informationen zur eingesetzten Ionen-Quelle • Preamplifier: Informationen zum Preamplifier • Preamplifier test: Informationen zum Preamplifier-Test. Schnittstellen • I/O module (1): Informationen zu Softwareversion, Ein- und Ausgängen • I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen 124 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 125 Abb. 20: I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen Zustand der Eingangssignale Konfigurierte Funktion (INV = Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder inaktiv) • I/O module (3): Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 125 / 144...
  • Seite 126 Abb. 21: Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen Konfigurierte Funktion (INV = Zustand der Ausgangssignale Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder inaktiv) • Bus module (1): Informationen zum Bus-Modul • Bus module (2): Informationen zum Bus-Modul, Fortsetzung 126 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

  • Seite 127: Software Aktualisieren

    Sie nicht den USB-Stick, während die Software aktualisiert wird. Folgen Sie den Anweisungen auf dem Touchscreen und warten Sie, bis das Update abgeschlossen ist. 11.3.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren Die aktuelle Software ist beim Support von Inficon erhältlich. LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 127 / 144...

  • Seite 128: Software Des I/O-Moduls Aktualisieren

    Folgen Sie den Anweisungen auf dem Touchscreen und warten Sie, bis das Update abgeschlossen ist. ð Folgende Hinweise werden nach Wählen der Taste "Start" auf dem Touchscreen angezeigt: • IO1000 anschließen und einschalten. • Boot-Modus aktivieren (DIP S2.3 einmal ein- und ausschalten). 128 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 129 INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 11 • Wenn die STATUS LED grün blinkt OK drücken. Abb. 22: DIP-Schalter am I/O-Modul LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 129 / 144...

  • Seite 130: Wartung

    Die Wartung des Massenspektrometer-Moduls beschränkt sich auf den Tausch des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe und die Überprüfung des Lüfters an der Turbomolekularpumpe. Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrags mit INFICON oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner. 12.1 Wartung bei INFICON WARNUNG Gefährdung der Gesundheit...

  • Seite 131: Wartungsplan

    Internes Prüfleck kalibrieren Interne Interne Kalibrierung ausführen X1 Kalibrierung Externe Externe Kalibrierung Kalibrierung ausführen Lecksuche He-Lecksuche am MS‑Modul MS‑Modul ausführen X: nach Betriebsstunden oder Zeitdauer X1: nach Betriebsstunden X2: nach Zeitdauer 1: von Umwelt und Einsatz abhängig LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 131 / 144...

  • Seite 132: Wartungsarbeiten

    Massenspektrometer-Modul außer Betrieb nehmen, siehe "Außerbetriebnahme [} 137]". Auslauf Turbomolekularpumpe abwarten (mindestens 1 min). 24-V-Netzteil von MSB-Box trennen. Gegebenenfalls Turbomolekularpumpe auskühlen lassen. Turbomolekularpumpe ausbauen. Belüftungsschraube (1) langsam öffnen. ð Turbomolekularpumpe flutet auf Atmosphärendruck an. Abb. 23: Turbomolekularpumpe SplitFlow 80 1 Belüftungsschraube 132 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 133 Verschlussdeckels! Andernfalls wird die Pumpe irreparabel beschädigt. ü Stirnlochschlüssel, P/N: 551-200 ü Zwei Schraubendreher ü Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet. Verschlussdeckel (1) mit Stirnlochschlüssel herausschrauben. Betriebsmittelspeicher (2) mit zwei Schraubendrehern herausheben. Lösen Sie keine Schrauben! 1 Verschlussdeckel 2 Betriebsmittelspeicher LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 133 / 144...
  • Seite 134 Neue Porex-Stäbe (1) (8 Stück) mit Pinzette einsetzen. 1 Porex-Stäbe Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen HINWEIS Sachschäden durch falsch montierten O-Ring Ein falsch montierter O-Ring kann Undichtigkeiten verursachen. Das Gerät hat Fehlfunktionen und wird beschädigt. ► O-Ring des Verschlussdeckels sorgfältig einlegen. 134 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
  • Seite 135 Deckel ein wenig in die Pumpe zurück. Diese Position ermöglicht ein besseres Ineinandergreifen der Gewinde. Verschlussdeckel (1) mit Stirnlochschlüssel ohne Kraftaufwand einschrauben. Verschlussdeckel mit einem Drehmoment von 13 Nm +/-10% anziehen. Belüftungsschraube (4) handfest anziehen. LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 135 / 144...
  • Seite 136 12 | Wartung INFICON Turbomolekularpumpe einbauen. Massenspektrometer-Modul in Betrieb nehmen. Wartungsarbeit bestätigen ü Bedieneinheit installiert ü Berechtigung = Integrator ► Wartungsarbeit in Bedieneinheit bestätigen: „Berechtigung > Integrator > Wartung > Wartungsarbeit“ 136 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

  • Seite 137: Außerbetriebnahme

    Warten, bis Turbomolekularpumpe nicht mehr läuft. 13.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zu INFICON gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollte von dieser Möglichkeit Gebrauch gemacht werden.

  • Seite 138: Anhang

    14 | Anhang INFICON 14 Anhang 14.1 CE-Erklärung 138 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

  • Seite 139: Einbauerklärung

    INFICON Anhang | 14 14.2 Einbauerklärung LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 139 / 144...

  • Seite 140: Kontaminationserklärung

    14 | Anhang INFICON 14.3 Kontaminationserklärung 140 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

  • Seite 141: Rohs

    INFICON Anhang | 14 14.4 RoHS LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911) 141 / 144...
  • Seite 142 14 | Anhang INFICON 142 / 144 LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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