Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Anschließen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

INFICON
5.3 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und Trans-
portmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des Massenspektrometer-
Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden – nicht die Transport-
muttern.
HINWEIS
Sachschäden durch fehlende Unterlegscheiben
Wenn die Unterlegscheiben nicht montiert werden, können die MO-Lager ausreißen.
► Unterlegscheiben immer zwischen Prüfanlage und MO-Lager montieren.
WARNUNG
Schwere Verletzungen durch Ausbruch des Massenspektrometer-Moduls
Wenn das Massenspektrometer-Modul nicht ausreichend festgeschraubt ist, kann ein
plötzlich blockierender Rotor der Turbomolekularpumpe bewirken, dass das Massen-
spektrometer-Modul ausbricht. Schwerste Verletzungen können die Folge sein.
► Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein Bremsmo-
ment von 670 Nm aufnehmen kann.
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Durchgangsbohrungen bohren:
– X-Abstand: 283 mm
– Y-Abstand: 121,5 mm
– Durchgangsbohrung in Blech: Ø 9 mm
– Befestigungsschrauben: M8 x 50
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Transportmuttern demontieren.
3 Massenspektrometer-Modul auf Durchgangsbohrungen setzen und mit Befesti-
gungselementen wie in obiger Abbildung gezeigt festschrauben
anschließen
Die Betriebsart des Vakuumanschlusses und die Drehzahl der Turbomolekularpumpe
legen fest:
• Kleinste nachweisbare Leckrate (KnL)
• Dauerhaft zulässiger Einlassdruck (p
• Saugvermögen (S)
Die folgenden Angaben gelten für den Einsatz von Helium als Prüfgas.
)
max
Montage | 5
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