Kapillarüberwachung Einstellen; Drehzahl Der Turbomolekularpumpe Einstellen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

7 | Betrieb LDS3000
7.17 Kapillarüberwachung einstellen
Druckwert Kapillare
verstopft
Druckwert Kapillare
gebrochen
Erkennen einer fehlen-
den Schnüffelleitung

7.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen

Drehzahl der Turbomo-
lekularpumpe
64 / 141
Um ein Verstopfen der 25/300-sccm-Kapillare zu detektieren, wird ein minimaler
Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die Warnmel-
dung 540 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 541 ausgegeben.
1E-3 ... 18 mbar
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Kapilla-
re > Verstopft > Druck Kapillare verstopft
LD-Protokoll Befehl 452
ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:PRESSLow
Um eine Unterbrechung der 25/300-sccm-Kapillare zu detektieren, wird ein maxima-
ler Druckwert eingestellt. Wird der Wert überschritten, gibt das System die Warnmel-
dung 542 aus.
1E-3 ... 18 mbar
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Kapilla-
re > Gebrochen > Druck Kapillare Gebrochen
LD-Protokoll Befehl 453
ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:PRESSHigh
Automatische Erkennung einer fehlenden Schnüffelleitung. Diese Funktion sollte de-
aktiviert werden, wenn eine Schnüffelleitung verwendet wird, die nicht automatisch
erkannt wird.
0 An
1 Aus
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüff-
ler > Meldungen > Schnüffelleitungserkennung
LD-Protokoll Befehl 529
ASCII-Protokoll –
In einigen Anwendungen kann es sinnvoll sein die Drehzahl der Turbomolekularpum-
pe zu reduzieren, um die Empfindlichkeit des Geräts zu erhöhen. Dadurch verringert
sich allerdings der maximal zulässige Einlassdruck am GROSS-, FINE- und ULTRA-
Anschluss. Nach dem Ändern der Drehzahl ist eine erneute Kalibrierung erforderlich!
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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