Wartungsplan - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

INFICON

8.3 Wartungsplan

Wartungs- Betriebsstunden
arbeiten
Zeitdauer
Turbo- Betriebsmittelspeicher
molekularpumpe tauschen,
Ersatzteil-Nr.: 200003801
Lager tauschen (empfohlen)
Lüfter reinigen und auf
Funktion kontrollieren
Zubehör Schnüffelventil reinigen
Internes Prüfleck kalibrieren
Interne Interne Kalibrierung ausführen X1
Kalibrierung
Externe Externe Kalibrierung
Kalibrierung ausführen
Lecksuche He-Lecksuche am MS‑Modul
MS‑Modul ausführen
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
HINWEIS
Sachschäden durch Verschmutzung
Das Massenspektrometer-Modul ist ein Präzisionsmessgerät. Schon geringe Ver-
schmutzungen können das Gerät beschädigen.
► Bei allen Wartungsarbeiten auf saubere Umgebung achten und sauberes Werkzeug
benutzen.
Wenn die Wartungsarbeiten des Wartungsplans nicht durchgeführt werden, verfällt die
Gewährleistung für das Massenspektrometer-Modul LDS3000.
X: nach Betriebsstunden oder Zeitdauer
X1: nach Betriebsstunden
X2: nach Zeitdauer
1: von Umwelt und Einsatz abhängig
24 8000 16000
1 Jahre 2 Jahre
1
X
X2
X1
X
Wartung | 8
24000 36000 Service-
stufe
3 Jahre
X2 II und III
X2 III
I und II
III
III
I
I
III
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