Inhaltsverzeichnis - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Inhalt
1 Zu dieser Anleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.1
1.2
1.3
2 Sicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.1
2.2
2.3
2.4
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung . . . . . . . . . . . . . . . 10
4 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.1
4.2
4.3
5 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.1
5.2
5.3
5.4
5.5
6 Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1
6.2
6.3
6.4
Zielgruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Mitgeltende Dokumente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Darstellung von Informationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3.1 Warnhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3.2 Text-Auszeichnungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Anforderungen an den Betreiber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Anforderungen an den Anwender . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Allgemeine Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Geräteaufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.2.1 Gesamtgerät . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.2.2 Anschlussblock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2.3 MSB-Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.3.1 Mechanische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.3.2 Elektrische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.3.3 Physikalische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.3.4 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.3.5 Werkseinstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen . . . . . . . . . 19
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren . . . . . . . . . . . . 20
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage anschließen . . . . . . . . . . 21
Schlauchverbindungen herstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Elektrische Verbindungen herstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Gerät einschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Voreinstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Kompatibilitätsmodus und Betriebsart wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Gasart wählen (Masse) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3
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