Inhaltsverzeichnis - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

INFICON

Inhaltsverzeichnis

1 Über diese Anleitung ........................................................................................................................................ 7
1.1 Mitgeltende Dokumente............................................................................................................................ 7
1.2 Zielgruppen............................................................................................................................................... 7
1.3 Warnhinweise ........................................................................................................................................... 7
1.4 Begriffsdefinitionen ................................................................................................................................... 9
2 Sicherheit........................................................................................................................................................ 12
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung........................................................................................................ 12
2.2 Anforderungen an den Betreiber ............................................................................................................ 12
2.3 Pflichten des Bedieners .......................................................................................................................... 13
2.4 Gefahren................................................................................................................................................. 14
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ................................................................................................................ 16
4 Beschreibung.................................................................................................................................................. 17
4.1 Funktion .................................................................................................................................................. 17
4.2 Geräteaufbau.......................................................................................................................................... 18
4.2.1 Gesamtgerät (LDS3000)............................................................................................................. 18
4.2.2 Gesamtgerät (LDS3000 AQ)....................................................................................................... 19
4.2.3 Anschlussblock ........................................................................................................................... 23
4.2.4 MSB-Box..................................................................................................................................... 23
4.2.5 Kennzeichnungen am Gerät ....................................................................................................... 26
4.3 Technische Daten................................................................................................................................... 26
4.4 Werkseinstellungen ................................................................................................................................ 27
5 Montage LDS3000.......................................................................................................................................... 30
5.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen ..................................................................... 30
5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren........................................................................... 31
5.3 Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS wählen...................................................................................... 32
5.4 Komponentenverbindungen herstellen ................................................................................................... 33
5.5 Elektrische Verbindungen herstellen ...................................................................................................... 34
6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) .......................................................................................................... 35
6.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen ..................................................................... 35
6.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren........................................................................... 36
6.3 Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen ........................................................................ 38
6.4 Elektrische Verbindungen herstellen ...................................................................................................... 40
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Inhaltsverzeichnis
iii