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Kalibrierfaktor Eingeben; Kalibrierfaktor Vakuum; Kalibrieren - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON

8.9.2 Kalibrierfaktor eingeben

8.9.3 Kalibrierfaktor Vakuum

8.9.4 Kalibrieren

LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Sehen Sie dazu auch
2 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen [} 82]
Der Kalibrierfaktor wird normalerweise durch die entsprechende Kalibrierroutine be-
stimmt. Daher ist es normalerweise nicht nötig, den Kalibrierfaktor manuell zu verstel-
len.
Ein falsch eingestellter Kalibrierfaktor führt zwangsläufig zu einer falschen Leckraten-
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Gilt auch für Geräte im Modus AQ.
Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4.
Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben.
0,01 ... 5000
Bedieneinheit
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > Kalibrier-
fak. > Masse 2 (3, 4) > Kalibrierfaktor VAC H2 (M3, He)
LD-Protokoll
Befehl 520
ASCII-Protokoll
Befehl *FACtor:CALVac
Beachten Sie auch die allgemeinen Hinweise zum Kalibrieren, siehe "Gerät kalibrieren
[} 47]".
Voraussetzungen für alle Vorgehensweisen
• Ein externes Prüfleck ist vorhanden.
• Die Angaben zum Prüfleck sind eingetragen, siehe auch "Leckrate von Prüflecks
hinterlegen [} 76]".
• Um Verfälschungen von Messergebnissen durch einen erhöhten Untergrundwert
entgegenzuwirken, haben Sie mindestens 60 Minuten Aufwärmzeit gewartet.
• Der aktuelle "Peak" wurde bestimmt, siehe auch "Peak bestimmen [} 76]".
Bedieneinheit CU1000
1
Legen Sie das offene Prüfleck in die Messkammer und schließen Sie die Mess-
kammer.
2
Hauptmenü > Funktionen > CAL > Extern
Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8
79 / 141

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