Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren
20
Montage
Das Massenspektrometer-Modul kann in allen Lagen montiert werden.
Abb. 5 Komponenten eines Befestigungselements
Innensechskantschraube M8 x 50
a
Unterlegscheibe
b
MO-Lager
c
Prüfanlage
d
 Selbstsichernde Muttern M8
 Maulschlüssel SW13
 Innensechskantschlüssel SW6
 Löcher zur Montage in Prüfanlage
Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und
Transportmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des Massenspektro-
meter-Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden – nicht die
Transportmuttern.
Mutter M8 (selbstsichernd)
e
Grundrahmen
f
Federgummi
g
Führung MSB-Box
h