Geräteaufbau; Gesamtgerät (Lds3000) - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

4 | Beschreibung
4.2 Geräteaufbau
4.2.1 Gesamtgerät (LDS3000)
18 / 144
Abb. 1: Massenspektrometer-Modul LDS3000
1 Anschlussblock. Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, Drucksensor
PSG500, internes Prüfleck und Schnüffelleitung, siehe auch "Anschlussblock
[} 23]".
2 Drucksensor PSG500 zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe
3 Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls
4 Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit
5 MSB-Box. Schnittstellen des Massenspektrometer-Moduls (siehe "MSB-Box
[} 23]")
6 Wandler Turbomolekularpumpe
7 Befestigungselemente zur Montage des Massenspektrometer-Moduls in einer
Prüfanlage
8 Typenschild mit Kenndaten des Massenspektrometer-Moduls
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
INFICON