Ionenquelle Einrichten - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Drehzahl der Turbo-
molekularpumpe
Lüfter der Turbomole-
kularpumpe steuern
6.18

Ionenquelle einrichten

Emission ein-/aus-
schalten
Sollwerte der
Anodenspannung
anzeigen
Auswahl einer
Kathode
44
Betrieb
Drehzahl der Turbomolekularpumpe in Hertz
– 1000
– 1500
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellun-
gen > TMP Drehzahl
LD-Protokoll 501
ASCII-Protokoll *CONFig:SPEEDTMP
Lüfter der Turbomolekularpumpe steuern
– 0 immer eingeschaltet
– 1 temperaturabhängige Steuerung
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellun-
gen > Lüftersteuerung
LD-Protokoll 499
ASCII-Protokoll –
Emission ein-/ausschalten
– 0 Aus
– 1 An
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Ionenquelle >
Emission
LD-Protokoll 9
ASCII-Protokoll –
Für Masse 2, 3, und 4 werden die Sollwerte der Anodenspannung angezeigt
– Masse 2 (Hydrogen)
– Masse 3
– Masse 4 (Helium)
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Ionenquelle >
Anodensp.
LD-Protokoll 433, 434, 435
ASCII-Protokoll *CONFig:MFAE:M2 (3, 4)
Auswahl einer Kathode. Alternativ kann ein automatisches Umschalten zwischen
den Kathoden bei defekter Kathode eingestellt werden.
– 0 CAT1
– 1 CAT2
– 2 Auto Cat1 (automatisches Umschalten auf Kathode 2)
– 3 Auto Cat2 (automatisches Umschalten auf Kathode 1)
– 4 OFF
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Ionenquelle >
Kathodenauswahl
LD-Protokoll 530
ASCII-Protokoll *CONFig:CAThode
*STATus:CAThode