Technische Daten; Mechanische Daten; Elektrische Daten; Physikalische Daten - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

4.3

Technische Daten

4.3.1

Mechanische Daten

4.3.2

Elektrische Daten

4.3.3

Physikalische Daten

SERVICE
RS232-Anschluss für INFICON-Service
I/O / ANYBUS
CONTROL UNIT
Anschluss für I/O-Modul oder Bus-Modul oder Bedieneinheit
Die Anschlüsse „I/O Anybus" und „Control Unit" haben die gleiche Funktionalität. Es
können wahlweise angeschlossen werden:
– Bedieneinheit CU1000 + I/O-Modul IO1000 oder
– Bedieneinheit CU1000 + Bus-Modul BM1000 oder
– I/O-Modul IO1000 + Bus-Modul BM1000 oder
– Zwei Bedieneinheiten CU1000 oder
– Zwei I/O-Module IO1000 (nur zusammen konfigurierbar)
12 - STATUS
Status-LED
Die Status-LED und die Power-LED zeigen den Betriebszustand des Geräts.
Abmessungen (B x H x T)
Gewicht
Anschluss Gross/Forepump
Anschluss Fine/Sniffer
Anschluss Ultra
Versorgungsspannung
Stromaufnahme
Querschnitt Anschlussleitung
< 7 m Länge
< 11,9 m Länge
< 19 m Länge
Geräuschpegel
Nachweisbare Gase
Max. Einlassdruck
(je nach Betriebsart und Drehzahl
Turbomolekularpumpe)
320 mm x 280 mm x 240 mm
14,3 kg
2 x DN 16
2 x DN 16
DN 16 und DN 25
24 V ± 10% DC
max. 10 A
2
1,5 mm
2
2,5 mm
2
4,0 mm
< 60 dB(A)
4
He, H , Masse 3 (z. B. H-D,
2
0,2 mbar ... 18 mbar
Beschreibung
3
He oder H )
3
15