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Kalibrierung Prüfen; Kalibrierung Mit Internem Prüfleck Prüfen; Kalibrierung Mit Externem Prüfleck Prüfen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON
7.8.6 Kalibrierung prüfen
7.8.6.1 Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen
7.8.6.2 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Um zu prüfen, ob eine neue Kalibrierung nötig ist, können Sie die bestehende prüfen.
Diese Prüfung ist nur mit der Einstellung "Masse 4" möglich.
► Prüfung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Prüfen int.
LD-Protokoll: 4, Parameter 4
ASCII-Protokoll: *CAL:PROOFINT
IO1000: CAL Prüfen intern, siehe "Einstellungen für das I/O-Modul IO1000 [} 88]"
ð
Prüfung wird automatisch durchgeführt.
► LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw.
*STATus:CAL
1
Externes Prüfleck öffnen bzw. Schnüffelleitung an Prüfleck halten.
2
Warten, bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil ist.
3
Prüfung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Prüfen ext.
LD-Protokoll: 4, Parameter 5
ASCII-Protokoll: *CAL:PROOFEXT
IO1000 vergleiche Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten
[} 50]".
ð Aufforderung „Prüfleck schließen"
4
Vakuumbetrieb: Prüfleck in Prüfanlage schließen.
Schnüffelbetrieb: Schnüffelleitung von Prüfleck entfernen.
ð Leckratensignal fällt ab.
5
Stabilen Untergrundmesswert bestätigen:
Bedieneinheit: „OK"
LD-Protokoll: 11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000 vergleiche Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten
[} 50]".
ð
Die Prüfung ist beendet, wenn:
Bedieneinheit: Prüfergebnis wird angezeigt
LD-Protokoll: Wie bei den anderen Schritten, muss der Verlauf abgefragt werden
ASCII-Protokoll: Wie bei den anderen Schritten, muss der Verlauf abgefragt wer-
Betrieb LDS3000 | 7
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