Komponenten Auswählen Und Verbindungen Herstellen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

6 | Montage LDS3000 AQ (Akkumulation)
6.3 Komponenten auswählen und Verbindungen
1 Messkammer mit Lüfter. Nicht im Lieferumfang.
2 ISO-KF DN16 (Einschraubflansch). Sie können den Einschraubflansch über die Homepage von
INFICON unter "Vakuumkomponenten" beziehen.
3 Einlassmodul
4 Wellschlauch. Nicht im Lieferumfang. Sie können den Wellschlauch über die Homepage von INFICON
unter "Vakuumkomponenten" beziehen.
5 Blindflansch
6 Massenspektrometer-Modul
7 Netzteil 24 V
8 Trockene Vorpumpe mit separater Stromversorgung. Nicht im Lieferumfang. Sie können die
"Membranpumpe LDS AQ" von INFICON unter der Bestellnummer 560-630 beziehen, ferner das "DIN-
Schienennetzteil 24 V, 10 A" unter der Bestellnummer 560-324.
9 GROSS-Drosselflansch
10 Drucksensor PSG500 zur Messung des Einlassdrucks
11 Ohne Abbildung: ISO-K Zentrierringe und Dichtungen. Nicht im Lieferumfang. Sie können sie über die
Homepage von INFICON unter "Vakuumkomponenten" beziehen.
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Abb. 12: Akkumulation: Überblick über den Aufbau
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